主要用途
晶圆探针台是用于晶圆级芯片测试的设备。广泛应用于半导体制造、集成电路测试等领域，能够对晶圆上的芯片进行电学测试。
参数指标
晶圆尺寸：100-300mm；探针数量：可配置；定位精度：≤1μm；温度范围：-60-300℃。
主要样品类型
适用于晶圆测试，包括：硅晶圆、化合物半导体晶圆等。
主要实验项目
晶圆级测试、芯片筛选、良率分析、失效分析等。
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