电子级硝酸检测

信息概要

电子级硝酸是一种高纯度硝酸，广泛应用于半导体、电子元器件、光伏等高科技产业，其纯度与杂质含量直接影响产品的性能和可靠性。第三方检测机构提供的电子级硝酸检测服务，通过科学严谨的分析手段，确保产品符合国际标准（如SEMI、ASTM等）及行业特定要求。检测涵盖理化指标、金属杂质、颗粒物等多个维度，对保障电子级硝酸的工艺稳定性和终端产品良率至关重要。例如，金属杂质超标可能导致半导体器件漏电或失效，而颗粒物会影响光刻工艺的精度。

检测项目

纯度检测，浓度测定，金属离子含量（如钠、钾、铁、铜、锌、镍、铬、铝、钙、镁），氯离子含量，硫酸根离子含量，颗粒物数量及粒径分布，总有机碳（TOC），氧化还原电位，pH值，比重，色度，不挥发物，硝酸盐氮，亚硝酸盐氮，氨氮，蒸气压，热稳定性，腐蚀性评估，环境影响评估，水分含量。

检测范围

浓电子级硝酸，稀电子级硝酸，超纯电子级硝酸，半导体级硝酸，光伏级硝酸，显示面板用硝酸，集成电路用硝酸，LED制造用硝酸，电子蚀刻液用硝酸，化学机械抛光（CMP）用硝酸，光刻胶显影用硝酸，封装材料用硝酸，硅片清洗用硝酸，靶材制备用硝酸，电子镀膜用硝酸，实验室级高纯硝酸，分析纯硝酸，工业电子级硝酸，特种电子级硝酸，定制化电子级硝酸。

检测方法

离子色谱法：用于测定硝酸根离子及阴离子杂质，灵敏度高且抗干扰能力强。

紫外分光光度法：通过220nm和275nm双波长测量硝酸盐氮，校正有机物干扰。

原子吸收光谱法（AAS）：定量分析金属杂质如铁、铜等，检出限可达ppb级。

电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）：检测超痕量金属元素，适用于半导体级硝酸。

气相色谱法：分析挥发性有机杂质及分解产物。

滴定法：酸碱中和滴定测定硝酸浓度，操作简便成本低。

比色法：利用显色反应定量特定成分，如亚硝酸盐。

电位法：采用离子选择性电极快速检测硝酸根浓度。

激光颗粒计数器：统计颗粒物数量及粒径分布，关键用于光刻工艺。

重量法：测定不挥发物含量，评估蒸发残留。

热重分析法（TGA）：评估热稳定性及分解温度。

电导率法：间接反映离子杂质总量。

核磁共振（NMR）：分析分子结构及同位素组成。

X射线荧光光谱（XRF）：非破坏性检测元素组成。

加速老化试验：模拟长期储存条件评估稳定性。

检测仪器

离子色谱仪，紫外分光光度计，原子吸收光谱仪，ICP-MS，气相色谱仪，自动滴定仪，激光颗粒计数器，pH计，电导率仪，电位滴定仪，TGA热重分析仪，NMR核磁共振仪，X射线荧光光谱仪，恒温水浴箱，离心机。

北检院部分仪器展示