高纯硅烷气-杂质含量测定

信息概要

高纯硅烷气是一种广泛应用于半导体、光伏和电子工业的特种气体，其纯度直接影响产品的性能和质量。杂质含量测定是确保高纯硅烷气符合行业标准的关键环节，通过检测可有效控制气体中的微量杂质，避免对生产工艺和终端产品造成不良影响。第三方检测机构提供专业的杂质含量测定服务，帮助客户确保气体纯度，满足生产需求。

检测项目

氧气含量, 氮气含量, 氢气含量, 二氧化碳含量, 甲烷含量, 乙烷含量, 丙烷含量, 水分含量, 总碳氢化合物含量, 氯化物含量, 氟化物含量, 硫化物含量, 氨气含量, 磷化氢含量, 砷化氢含量, 硼化氢含量, 金属离子含量, 颗粒物含量, 总杂质含量, 纯度测定

检测范围

电子级硅烷气, 光伏级硅烷气, 半导体级硅烷气, 超高纯硅烷气, 工业级硅烷气, 掺杂硅烷气, 液态硅烷气, 压缩硅烷气, 瓶装硅烷气, 管道输送硅烷气, 特种硅烷气, 医用硅烷气, 研究用硅烷气, 高纯硅烷混合气, 硅烷衍生物气体, 硅烷尾气, 硅烷废气, 硅烷回收气, 硅烷标准气, 硅烷校准气

检测方法

气相色谱法（GC）：用于分离和测定气体中的有机和无机杂质。

质谱法（MS）：通过离子化检测气体中的微量杂质。

傅里叶变换红外光谱法（FTIR）：用于测定气体中的特定官能团杂质。

激光光谱法：高灵敏度检测气体中的痕量杂质。

电化学法：测定气体中的氧气、水分等活性杂质。

紫外荧光法：用于检测硫化物等特定杂质。

化学发光法：测定氮氧化物等反应性杂质。

原子吸收光谱法（AAS）：检测金属离子杂质。

电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）：高精度测定金属杂质含量。

露点法：测定气体中的水分含量。

粒子计数法：检测气体中的颗粒物浓度。

重量法：通过吸附和称重测定杂质含量。

滴定法：用于测定气体中的酸性或碱性杂质。

比色法：通过颜色反应测定特定杂质浓度。

电导率法：测定气体中的离子杂质。

检测仪器

气相色谱仪, 质谱仪, 傅里叶变换红外光谱仪, 激光光谱仪, 电化学分析仪, 紫外荧光分析仪, 化学发光分析仪, 原子吸收光谱仪, 电感耦合等离子体质谱仪, 露点仪, 粒子计数器, 电子天平, 滴定仪, 分光光度计, 电导率仪

北检院部分仪器展示