超高纯材料-痕量杂质检测

信息概要

超高纯材料-痕量杂质检测是针对高纯度材料中极微量杂质成分的精准分析服务。这类材料广泛应用于半导体、光伏、航空航天、核工业等高科技领域，其纯度直接关系到产品的性能与可靠性。痕量杂质的存在可能导致材料电学、光学或机械性能的显著劣化，因此检测对于质量控制、工艺优化及研发创新至关重要。本服务通过先进技术手段，检测限可达ppb甚至ppt级别，确保材料符合国际标准（如ASTM、ISO）及行业特殊需求。

检测项目

金属杂质（Na、K、Ca、Fe、Cu、Ni、Cr、Zn、Al、Mg）, 非金属杂质（C、O、N、S、P、Si、B）, 卤素元素（F、Cl、Br、I）, 稀土元素（La、Ce、Nd、Y）, 放射性元素（U、Th）, 有机污染物（VOCs、PAHs）, 颗粒物浓度, 表面污染物, 晶体缺陷, 电导率, 载流子浓度, 介电常数, 热导率, 光学透过率, 氢含量, 同位素比例, 化学稳定性, 腐蚀速率, 吸附气体含量

检测范围

高纯硅（多晶硅、单晶硅）, 高纯石英, 高纯铝, 高纯铜, 高纯钛, 高纯镍, 高纯钨, 高纯钼, 高纯银, 高纯金, 高纯石墨, 高纯氧化铝, 高纯氮化硅, 高纯碳化硅, 高纯砷化镓, 高纯磷化铟, 高纯锗, 高纯硒, 高纯碲, 高纯稀土氧化物

检测方法

电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）：测定金属及稀土元素，检测限低至ppt级

辉光放电质谱法（GD-MS）：全元素分析，适用于块体高纯材料

二次离子质谱法（SIMS）：表面及深度剖面分析，分辨率达纳米级

气相色谱-质谱联用（GC-MS）：检测有机挥发物及残留溶剂

高温燃烧红外法：测定碳、硫等非金属元素含量

脉冲熔融红外法：精确分析氧、氮、氢等轻元素

X射线光电子能谱（XPS）：表面元素化学态表征

原子吸收光谱（AAS）：特定金属元素的定量分析

离子色谱法（IC）：卤素及阴离子检测

激光剥蚀电感耦合等离子体质谱（LA-ICP-MS）：固体样品直接分析

中子活化分析（NAA）：超高灵敏度多元素检测

俄歇电子能谱（AES）：表面微区杂质分布研究

傅里叶变换红外光谱（FTIR）：分子结构及污染物鉴定

扫描电子显微镜-能谱（SEM-EDS）：形貌与元素同步分析

放射性测量法：铀、钍等放射性元素检测

检测仪器

电感耦合等离子体质谱仪, 辉光放电质谱仪, 二次离子质谱仪, 气相色谱-质谱联用仪, 高温燃烧红外分析仪, 脉冲熔融氧氮氢分析仪, X射线光电子能谱仪, 原子吸收光谱仪, 离子色谱仪, 激光剥蚀系统, 中子活化分析装置, 俄歇电子能谱仪, 傅里叶变换红外光谱仪, 扫描电子显微镜, 能量色散X射线光谱仪

北检院部分仪器展示