标准号: GB/T 36053-2018
标准名称: X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
英文名称:Evaluation of thickness,density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements,alignment and positioning,data collection,data analysis and reporting
标准状态:现行
发布日期: 2018-03-15
实施日期: 2019-02-01
出版语种:中文简体
替代标准:暂无
引用标准:
提出部门:全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会