标准号: GB/T 41765-2022
标准名称: 碳化硅单晶位错密度的测试方法
英文名称:Test method for dislocation density of monocrystalline silicon carbide
标准状态:即将实施
发布日期: 2022-10-12
实施日期: 2023-05-01
出版语种:中文简体
替代标准:暂无
引用标准:GB/T 14264,GB/T 30656
提出部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
发布部门:国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会