标准号: GB/T 17170-2015
标准名称: 半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度红外吸收测试方法
英文名称:Test method for the EL2 deep donor concentration in semi-insulating gallium arsenide single crystals by infrared absorption spectroscopy
标准状态:现行
发布日期: 2015-12-10
实施日期: 2016-07-01
出版语种:中文简体
替代标准:GB/T 17170-1997
引用标准:GB/T 14264
提出部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会