标准号: GB/T 11073-2007
标准名称: 硅片径向电阻率变化的测量方法
英文名称:Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
标准状态:现行
发布日期: 2007-09-11
实施日期: 2008-02-01
出版语种:中文简体
替代标准:GB/T 11073-1989
引用标准:GB/T 1552,GB/T 2828(所有部分),GB/T 6618-1995,GB/T 12965
提出部门:中国有色金属工业协会
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会