标准号: GB/T 14146-2021
标准名称: 硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法
英文名称:Test method for carrier concentration of silicon epitaxial layers—Capacitance-voltage method
标准状态:现行
发布日期: 2021-05-21
实施日期: 2021-12-01
出版语种:中文简体
替代标准:GB/T 14146-2009
引用标准:GB/T 1550,GB/T 1551,GB/T 6624,GB/T 14264,GB/T 14847
提出部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
发布部门:国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会