标准号: GB/T 12963-2014
标准名称: 电子级多晶硅
英文名称:Electronic-grade polycrystalline silicon
标准状态:现行
发布日期: 2014-12-31
实施日期: 2015-09-01
出版语种:中文简体
替代标准:GB/T 12963-2009
引用标准:GB/T 1550,GB/T 1551,GB/T 1553,GB/T 1557,GB/T 1558,GB/T 4059,GB/T 4060,GB/T 4061,GB/T 13389,GB/T 14264,GB/T 24574,GB/T 24581,GB/T 24582
提出部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会