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GB/T 29852-2013 光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法

发布时间：2023-01-31 00:25:12 点击数：0
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标准号： GB/T 29852-2013

标准名称： 光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法

英文名称：Test method for measuring phosphorus,arsenic and antimony in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry

标准状态：现行

发布日期： 2013-11-12

实施日期： 2014-04-15

出版语种：中文简体

替代标准：暂无

引用标准：

提出部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

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