标准号: GB/T 29506-2013
标准名称: 300 mm硅单晶抛光片
英文名称:300 mm polished monocrystalline silicon wafers
标准状态:现行
发布日期: 2013-05-09
实施日期: 2014-02-01
出版语种:中文简体
替代标准:暂无
引用标准:GB/T 1550,GB/T 1554,GB/T 1555,GB/T 1557,GB/T 1558,GB/T 2828.1,GB/T 4058,GB/T 6616,GB/T 6624,GB/T 11073,GB/T 13388,GB/T 14140,GB/T 14264,GB/T 19921,GB/T 19922,GB/T 24578,GB/T 26067,GB/T 29504,GB/T 29507,GB/T 29508,YS/T 26,YS/T 679,SEMI MF 1390
提出部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会