标准号: GB/T 25755-2010
标准名称: 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
英文名称:Vacuum technology—Sputter-ion pumps—Measurement of performance characteristics
标准状态:现行
发布日期: 2010-12-23
实施日期: 2011-10-01
出版语种:中文简体
替代标准:暂无
引用标准:GB/T 3163
提出部门:中国机械工业联合会
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会