三甲基镓 标准参考

检测范围

三甲基镓（Trimethylgallium，TMGa）的检测范围主要包括以下领域：

1. 半导体材料制备：用于金属有机化学气相沉积（MOCVD）工艺中合成氮化镓（GaN）等化合物半导体。
2. 有机金属化合物质量控制：评估其纯度、稳定性及杂质含量是否符合电子级或工业级标准。
3. 危险化学品管理：针对其易燃性、毒性和储存安全性进行检测。

检测项目

1. 理化性质分析：
   • 纯度（主成分含量）
   • 杂质检测（如甲基氯化物、游离金属镓、水分含量等）
   • 密度、沸点、蒸气压等物理参数
2. 化学稳定性测试：
   • 氧化敏感性
   • 热分解特性
3. 安全性评估：
   • 闪点、自燃温度
   • 毒性（急性毒性、长期暴露风险）
   • 腐蚀性（对金属或容器的反应性）

检测仪器

1. 气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）：用于定量分析主成分及挥发性杂质。
2. 电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）：检测痕量金属杂质（如铁、铜、锌等）。
3. 卡尔费休水分测定仪：测定三甲基镓中水分含量。
4. 元素分析仪：验证碳、氢、镓元素的化学计量比。
5. 闪点测试仪：评估易燃性参数。
6. 热重分析仪（TGA）：研究热分解行为。

检测方法

1. 纯度与杂质分析：
   • 依据 ASTM E260-96 标准，采用气相色谱法（GC）结合内标法，定量主成分及杂质。
   • 使用 GB/T 3723-2023 进行水分含量的卡尔费休滴定法检测。
2. 金属杂质检测：
   • 按 ISO 17294-2 方法，通过 ICP-MS 测定痕量金属杂质。
3. 安全性测试：
   • 闪点测定参照 ASTM D93 标准，采用闭杯法进行。
   • 毒性评估依据 OECD 423 指南，通过动物实验或体外细胞毒性测试完成。
4. 化学计量比验证：
   • 基于元素分析结果，对比理论值与实测值，误差需小于 ±0.5%。

（注：具体方法需结合实验室实际条件及最新标准更新调整。）

北检院部分仪器展示