三甲基铟 标准参考

检测范围

三甲基铟（Trimethylindium，In(CH₃)₃）的检测范围主要涵盖其在半导体材料、有机金属化学气相沉积（MOCVD）工艺、LED制造及光伏材料等领域中的应用。检测对象包括：

1. 三甲基铟的纯度分析（≥99.999%）。
2. 杂质检测（金属杂质、有机杂质、水分等）。
3. 物理性质检测（密度、沸点、蒸气压等）。

检测项目

1. 主成分含量：三甲基铟的纯度及有效成分比例。
2. 金属杂质：铝（Al）、铁（Fe）、铜（Cu）、锌（Zn）、镓（Ga）等痕量金属元素。
3. 有机杂质：甲烷、乙烷及其他烷基化合物残留。
4. 水分含量：游离水或结合水的检测。
5. 物理性质：密度（20℃）、沸点（~134℃）、蒸气压（25℃）等。

检测仪器

1. 气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）：用于分析有机杂质及主成分纯度。
2. 电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）：检测金属杂质含量（检出限≤0.1 ppb）。
3. 卡尔费休水分滴定仪：测定样品中微量水分（检出限≤1 ppm）。
4. 密度计：通过振荡管法或比重瓶法测量密度。
5. 蒸气压测定仪：采用静态法或动态法测定蒸气压。

检测方法

1. 主成分纯度检测：
   • 依据ASTM E260或ISO 6974标准，使用GC-MS进行定量分析，内标法校准。
2. 金属杂质检测：
   • 按SEMI C3.45标准，采用ICP-MS对样品消解液进行多元素分析，标准曲线法定量。
3. 有机杂质分析：
   • 通过顶空气相色谱法（HS-GC）或GC-MS分离鉴定，外标法计算杂质含量。
4. 水分测定：
   • 基于卡尔费休库仑滴定法（ISO 760），直接进样测定液态样品水分。
5. 物理性质测定：
   • 密度采用振荡管密度计（ASTM D4052），沸点按ASTM D1078标准通过蒸馏法测定。

北检院部分仪器展示