光学轮廓仪检测

信息概要

检测项目

表面粗糙度（Sa, Sq, Sz）,轮廓高度偏差,台阶高度测量,曲率半径,平面度,波纹度,微观形貌三维重构,斜率分析,局部缺陷检测,膜厚均匀性,沟槽深度与宽度,接触角间接计算,功率谱密度分析,表面结构周期性,磨损量评估,涂层附着力间接表征,形变应力分布,纳米级划痕检测,光洁度等级评定,微观孔隙率统计

检测范围

光学透镜,半导体晶圆,微机电系统（MEMS）,精密模具,金属抛光件,陶瓷基板,薄膜涂层,光纤端面,蓝宝石窗口片,医疗植入体表面,液晶面板,3D打印部件,金刚石刀具刃口,太阳能电池板,汽车发动机缸体,航空航天涡轮叶片,微型传感器芯片,磁头滑轨,硬磁盘基片,光子晶体结构

检测方法

白光干涉法：利用干涉条纹相位变化还原表面高度信息，适用于高反射率样品。

共焦显微法：通过轴向扫描检测聚焦光强信号，实现透明/多层材料测量。

相移干涉术：多步相位调制提升垂直分辨率至亚纳米级。

条纹投影法：投射结构化光栅快速获取大范围形貌。

激光三角测量：基于光斑位移计算表面起伏，适合动态在线检测。

数字全息术：记录并重建物光波前，实现无透镜三维成像。

偏振敏感检测：分析材料各向异性对光学特性的影响。

频域分析：通过空间频率分解量化表面周期性结构。

多区域拼合扫描：扩展单次测量视野限制。

环境振动补偿：主动降噪技术提升实验室级测量稳定性。

高温原位测量：搭配温控腔体观测热变形过程。

纳米压痕同步检测：结合力学性能测试分析形变机制。

动态运动捕捉：高速采样记录表面瞬态变化。

化学腐蚀监测：实时跟踪表面蚀刻演变过程。

多光谱融合分析：集成不同波段光学信息增强特征识别。

检测仪器

白光干涉轮廓仪,激光共焦扫描显微镜,相移干涉测量系统,数字全息显微镜,结构光三维扫描仪,激光三角位移传感器,原子力显微镜（AFM）,扫描电子显微镜（SEM）,椭偏仪,表面粗糙度测试仪,纳米压痕仪,高光谱成像系统,红外热像仪,X射线衍射仪（XRD）,聚焦离子束（FIB）系统

北检院部分仪器展示