二次离子质谱（SIMS）氧化层元素分布检测

信息概要

检测项目

元素深度分布，氧含量梯度分析，氢元素检测，碳污染分析，氮掺杂浓度，金属杂质（如Fe、Na、K）含量，界面元素互扩散，同位素比例测定，氧化层厚度测量，硅基氧化层均匀性，薄膜层界面粗糙度，硼/磷掺杂分布，卤素元素（如Cl、F）残留，氧化层致密度评估，缺陷区域元素偏析，腐蚀产物成分分析，表面吸附物检测，氧化速率模拟验证，高温氧化行为研究，钝化层元素稳定性。

检测范围

半导体氧化层（SiO₂、Si₃N₄），金属氧化物涂层（Al₂O₃、TiO₂），高温合金氧化膜，光伏材料钝化层，锂电池电极表面氧化层，玻璃表面改性层，陶瓷防护涂层，聚合物表面氧化膜，医用植入体氧化层，磁性薄膜氧化界面，微电子器件栅氧化层，光学镀膜氧化层，核材料腐蚀层，太阳能电池抗反射层，焊接界面氧化层，碳化硅外延层，氮化镓器件表面氧化，金属防腐涂层，纳米颗粒氧化壳层，超导材料氧化层。

检测方法

静态二次离子质谱（SSIMS）：通过低离子束流获取表面分子信息。 动态二次离子质谱（DSIMS）：高束流实现深度剖面分析。 飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）：高分辨率质量分析结合成像功能。 X射线光电子能谱（XPS）：表面化学态及元素组成分析。 俄歇电子能谱（AES）：纳米级表面元素分布表征。 透射电子显微镜（TEM）：氧化层微观结构观察。 原子力显微镜（AFM）：表面形貌与粗糙度定量分析。 辉光放电质谱（GD-MS）：体材料痕量元素检测。 拉曼光谱（Raman）：氧化物相结构鉴定。 椭圆偏振光谱（Ellipsometry）：非破坏性氧化层厚度测量。 傅里叶变换红外光谱（FTIR）：化学键及官能团分析。 扫描电子显微镜（SEM-EDS）：表面元素面分布成像。 卢瑟福背散射谱（RBS）：定量深度分布及薄膜成分分析。 电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）：溶液样品痕量元素检测。 纳米压痕技术（Nanoindentation）：氧化层机械性能测试。

检测仪器

二次离子质谱仪（SIMS），飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS），X射线光电子能谱仪（XPS），俄歇电子能谱仪（AES），透射电子显微镜（TEM），原子力显微镜（AFM），辉光放电质谱仪（GD-MS），拉曼光谱仪，椭圆偏振仪，傅里叶变换红外光谱仪（FTIR），扫描电子显微镜（SEM-EDS），卢瑟福背散射谱仪（RBS），电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS），纳米压痕仪，聚焦离子束系统（FIB-SEM）。

北检院部分仪器展示