X射线光电子能谱检测

信息概要

X射线光电子能谱（XPS）是一种表面分析技术，通过测量样品表面被X射线激发出的光电子能量，获得元素组成、化学态及电子结构等信息。第三方检测机构提供XPS检测服务，覆盖材料科学、半导体、环境科学、生物医学等领域，确保产品质量控制、失效分析及研发优化。检测的重要性在于其高表面灵敏度（<10 nm）和定量能力，可精准识别污染物、氧化状态及界面特性，为产品性能改进和合规性认证提供关键数据支持。

检测项目

元素组成分析，化学态及价态分析，表面污染检测，元素深度剖析，结合能测定，功函数测量，Auger参数分析，元素分布成像，氧化层厚度测量，界面化学特性，化学键类型鉴定，表面吸附物质分析，掺杂浓度检测，薄膜均匀性评估，催化剂活性位点表征，聚合物表面改性分析，纳米材料表面功能化检测，腐蚀产物成分分析，有机-无机杂化材料界面研究，生物材料表面蛋白吸附量测定

检测范围

金属及合金材料，半导体器件，高分子聚合物，纳米颗粒，薄膜涂层，陶瓷材料，玻璃制品，催化剂，电池电极材料，光伏材料，医疗器械表面，生物兼容材料，复合材料，印刷电路板，磁性材料，环境污染物微粒，化石燃料残留物，药物赋形剂，纺织纤维表面处理层，电子元器件封装材料

检测方法

XPS宽扫分析（全谱扫描确定元素种类及含量），高分辨窄扫分析（精确测定特定元素化学态），离子溅射深度剖析（结合Ar+溅射获得元素纵深分布），角分辨XPS（通过出射角变化研究表面层结构），单色化Al Kα X射线源（提升能量分辨率），电荷中和技术（降低绝缘样品荷电效应），峰拟合分峰法（解析重叠化学态峰），定量灵敏度因子法（元素浓度计算），俄歇参数分析（辅助化学态鉴别），变角XPS成像（表面化学态空间分布），同步辐射XPS（高亮度光源提升检测限），原位加热XPS（研究温度对表面化学的影响），环境XPS（常压下实时表征样品），价带谱分析（研究电子结构），簇离子溅射（减少深度剖析中的化学损伤）

检测仪器

X射线光电子能谱仪，离子溅射枪，低能电子中和枪，高精度样品台，单色化Al Kα X射线源，半球形能量分析器，多通道检测器，紫外光电子能谱附件，原位加热样品舱，环境控制腔体，聚焦离子束系统，扫描电子显微镜联用模块，能谱仪（EDS），原子力显微镜联用平台，真空传输样品杆

北检院部分仪器展示