表面粗糙度, 三维轮廓精度, 微观形貌均匀性, 台阶高度测量, 孔径深度分析, 曲率半径计算, 平面度误差, 体积磨损量, 涂层厚度分布, 颗粒分布密度, 缺陷面积占比, 边缘锐度评估, 纹理方向性分析, 接触角测量, 三维坐标偏差, 面形误差, 热变形量, 振动形变监测, 光洁度等级, 微结构重复性
精密机械零件, 光学镜片, 半导体芯片, 生物植入物, 3D打印模型, 汽车发动机部件, 电子连接器, 航空航天结构件, 模具表面, 陶瓷基板, 金属镀层, 高分子薄膜, 纳米材料, 微流体器件, 太阳能电池板, 医疗器械表面, 珠宝饰品, 复合材料界面, 传感器芯片, 印刷电路板
激光扫描法(通过激光束扫描表面生成点云数据), 结构光三维成像(利用投影光栅相位解析形貌), 白光干涉仪(基于光波干涉测量微观高度差), 共聚焦显微镜(高分辨率光学层析成像), 原子力显微镜(纳米级表面形貌探测), X射线断层扫描(内部三维结构无损重建), 数字图像相关法(通过图像位移追踪形变), 相位测量轮廓术(相位解算表面高度), 飞行时间法(激光脉冲时间差测距), 接触式探针测量(机械探针接触式轮廓扫描), 光栅投影法(多频光栅相位解包裹), 频闪成像技术(动态形变过程捕捉), 莫尔条纹法(光栅干涉生成等高线), 电子束显微术(超高真空下纳米级成像), 超声波表面测厚(声波反射时间差分析)
三维激光扫描仪, 光学轮廓仪, 原子力显微镜, 白光干涉仪, 共聚焦激光显微镜, X射线CT扫描系统, 接触式轮廓仪, 数字图像相关系统, 相位测量干涉仪, 超声波测厚仪, 电子扫描电镜, 结构光投影设备, 频闪成像仪, 莫尔条纹分析仪, 激光多普勒振动计