清洁度与光学性能检测

信息概要

清洁度与光学性能检测是精密光学器件质量控制的核心环节。该检测服务针对各类光学元件表面污染物及光学特性进行量化分析，涵盖微粒残留、分子污染、透射率、反射率等关键指标。检测对于确保高端光学设备（如半导体光刻机、医疗内窥镜、激光武器系统）的成像精度、能量传输效率和长期稳定性具有决定性作用，能有效避免因镜片污染或光学参数偏差导致的产品失效和安全风险。通过第三方权威检测，制造商可验证产品符合ISO 10110、MIL-PRF-13830等国际标准要求。

检测项目

表面微粒数量,分子污染物浓度,表面离子残留量,纤维残留量,非挥发性残留物,透射率均匀性,折射率偏差,色散系数,光谱透过率曲线,光学畸变率,波前像差,散射损耗值,偏振保持度,表面粗糙度,激光损伤阈值,雾度值,双折射强度,有效焦距偏差,相对照度衰减,像面倾斜度,MTF调制传递函数,杂散光系数,镀膜附着力,吸光度梯度

检测范围

光学透镜,棱镜,滤光片,反射镜,激光晶体,光纤连接器,光学窗口片,分光镜,偏振片,衍射光栅,投影镜头,内窥镜镜片,显微镜物镜,红外热成像镜组,航天相机镜头,光刻机光学系统,激光准直镜,VR/AR光学模组,汽车激光雷达镜头,天文望远镜镜片,医疗光学传感器,光电倍增管,军用瞄准镜,工业内窥镜,摄影变焦镜头

检测方法

激光粒子计数法：通过激光散射原理量化表面0.1-100μm粒径微粒分布

傅里叶变换红外光谱：识别有机污染物分子结构及薄膜厚度

离子色谱法：测定可溶性阴阳离子污染物的种类与浓度

重量分析法：高温烘烤后称量非挥发性残留物总质量

光谱椭偏术：无损测量纳米级薄膜厚度与光学常数

干涉仪检测：利用激光干涉条纹分析表面面形精度与波前误差

积分球测试：全角度采集透射/反射数据计算光学效率

偏振敏感成像：定量分析材料双折射效应分布

MTF测试台：通过标准靶标成像评估系统分辨率衰减

激光诱导损伤测试：逐步增加激光功率测定元件损伤阈值

原子力显微镜：纳米级三维形貌重建与粗糙度计算

X射线光电子能谱：表面元素组成及化学态分析

接触角测量：通过液滴形态判定表面能及清洁度等级

加速环境试验：模拟极端温湿度验证光学性能稳定性

显微红外成像：定位微米级局部污染物分布

检测仪器

激光粒子计数器,傅里叶红外光谱仪,离子色谱仪,高精度电子天平,光谱椭偏仪,菲索干涉仪,积分球光谱测试系统,偏振成像分析仪,MTF测量仪,激光损伤阈值测试平台,原子力显微镜,X射线光电子能谱仪,接触角测量仪,环境试验箱,共聚焦显微镜,白光干涉仪,分光光度计,精密旋涂机,超声波清洗机,洁净度采样套件

北检院部分仪器展示