原子力显微镜（AFM）纳污量检测

信息概要

原子力显微镜（AFM）纳污量检测是一种高精度的表面污染分析技术，主要用于评估材料表面的污染物分布、颗粒尺寸及污染程度。该检测在半导体、生物医学、纳米材料等领域具有重要应用价值，能够帮助客户优化生产工艺、提高产品质量并满足行业标准要求。通过AFM纳污量检测，可以精准识别污染物类型及其对材料性能的影响，为后续清洁或改进工艺提供科学依据。

检测项目

表面粗糙度，污染物颗粒尺寸，污染物分布密度，表面粘附力，污染物化学成分，表面形貌，污染物覆盖率，污染物高度分布，表面电势，污染物电荷状态，污染物聚集程度，表面亲水性，污染物硬度，污染物弹性模量，污染物迁移率，表面缺陷密度，污染物结晶状态，污染物氧化程度，污染物挥发性，污染物溶解性

检测范围

半导体晶圆，光学镜片，纳米涂层，生物薄膜，聚合物材料，金属表面，陶瓷材料，复合材料，玻璃表面，碳纤维，石墨烯，硅片，太阳能电池板，医用植入物，电子元件，磁性材料，微机电系统（MEMS），传感器表面，催化剂载体，防污涂层

检测方法

接触模式AFM：通过探针与样品直接接触，获取表面形貌和力学性能数据。

非接触模式AFM：利用探针与样品间的微弱相互作用力，避免样品损伤。

轻敲模式AFM：探针在共振频率附近振动，减少横向力对样品的干扰。

力曲线分析：测量探针与样品间的力-距离关系，分析粘附力和弹性模量。

表面电势成像：通过Kelvin探针力显微镜（KPFM）检测表面电势分布。

化学力显微镜（CFM）：通过功能化探针检测表面化学性质。

纳米压痕测试：测量污染物或材料的硬度和弹性模量。

动态力学分析（DMA）：研究污染物或材料的动态力学性能。

拉曼光谱联用：结合AFM与拉曼光谱进行化学成分分析。

红外光谱联用：通过AFM-IR技术实现纳米尺度红外光谱检测。

扫描电化学显微镜（SECM）：检测表面电化学活性。

热导率测量：分析污染物或材料的热学性能。

磁力显微镜（MFM）：检测表面磁性污染物分布。

摩擦力显微镜（FFM）：研究表面摩擦力和粘附特性。

纳米尺度电导率测试：评估污染物或材料的导电性能。

检测仪器

原子力显微镜（AFM），扫描电子显微镜（SEM），能谱仪（EDS），X射线光电子能谱仪（XPS），拉曼光谱仪，红外光谱仪，椭偏仪，表面轮廓仪，纳米压痕仪，动态力学分析仪（DMA），热重分析仪（TGA），差示扫描量热仪（DSC），扫描电化学显微镜（SECM），磁力显微镜（MFM），摩擦力显微镜（FFM）

北检院部分仪器展示