自由曲面镜面形精度（PV＜0.5μm）

信息概要

自由曲面镜是一种具有复杂非对称曲面的光学元件，其面形精度（PV＜0.5μm）直接影响光学系统的成像质量与性能。该类产品广泛应用于航空航天、医疗设备、激光加工、虚拟现实等领域。检测自由曲面镜的面形精度是确保其光学性能的关键环节，通过第三方检测机构的专业服务，可以精准评估镜面质量，避免因面形误差导致的系统性能下降，同时为生产制造提供可靠的数据支持。

检测项目

面形精度（PV值）, 表面粗糙度, 曲率半径偏差, 局部斜率误差, 反射率, 透射率, 焦距偏差, 像散, 彗差, 球差, 畸变, 光洁度, 镀膜均匀性, 材料均匀性, 热稳定性, 环境适应性, 抗刮擦性能, 抗腐蚀性能, 抗冲击性能, 使用寿命评估

检测范围

非球面镜, 离轴抛物面镜, 双曲面镜, 椭球面镜, 柱面镜, 复曲面镜, 自由曲面反射镜, 自由曲面透镜, 微透镜阵列, 衍射光学元件, 激光整形镜, 头戴显示镜片, 车载HUD镜片, 医疗内窥镜镜片, 天文望远镜镜片, 红外光学镜片, 紫外光学镜片, 偏振镜, 分光镜, 合束镜

检测方法

干涉测量法：利用激光干涉仪测量面形偏差，适用于高精度自由曲面检测。

白光干涉法：通过白光干涉仪分析表面微观形貌与粗糙度。

轮廓仪扫描法：接触式或非接触式轮廓仪扫描曲面轮廓数据。

光学显微镜检测：观察表面缺陷与镀膜质量。

分光光度法：测量镜片的透射率与反射率。

激光跟踪仪测量：用于大尺寸自由曲面的三维形貌检测。

热循环测试：评估镜片在不同温度下的面形稳定性。

环境试验：模拟实际使用环境检测镜片的耐久性。

机械性能测试：包括抗冲击、抗刮擦等物理性能检测。

像质分析：通过波前传感器分析光学系统的像差。

焦距测量：利用平行光管与准直仪测量实际焦距。

镀膜厚度检测：通过椭偏仪或X射线荧光仪测量镀膜均匀性。

材料均匀性检测：利用偏光仪或光谱仪分析材料内部应力与杂质。

表面缺陷检测：采用自动光学检测（AOI）技术识别表面瑕疵。

长期老化测试：模拟实际使用条件评估镜片的使用寿命。

检测仪器

激光干涉仪, 白光干涉仪, 轮廓仪, 光学显微镜, 分光光度计, 激光跟踪仪, 热循环试验箱, 环境试验箱, 力学性能测试机, 波前传感器, 平行光管, 准直仪, 椭偏仪, X射线荧光仪, 偏光仪

北检院部分仪器展示