图案化芯片微区接触角阵列测量

信息概要

图案化芯片微区接触角阵列测量是一种用于分析芯片表面微区润湿性能的高精度检测技术，通过测量液滴在芯片表面的接触角，评估其表面能、亲疏水性及均匀性。该技术广泛应用于半导体、微电子、生物芯片等领域，对产品质量控制、工艺优化及研发创新具有重要意义。检测可确保芯片表面功能化处理的可靠性，避免因表面缺陷导致的性能问题，提升产品良率和市场竞争力。

检测项目

静态接触角,动态接触角,前进角,后退角,接触角滞后,表面能,极性分量,色散分量,润湿性,粘附功,滚动角,液滴形貌,接触角均匀性,表面粗糙度,化学组成,涂层厚度,疏水性,亲水性,接触角温度依赖性,接触角时间稳定性

检测范围

半导体晶圆,微流控芯片,生物传感器,光学器件,纳米材料涂层, MEMS器件,柔性电子,光伏组件,封装材料,显示面板,印刷电路板,医疗植入物,防污涂层,疏水材料,亲水材料,复合薄膜,导电薄膜,绝缘层,抗反射涂层,金属氧化物薄膜

检测方法

座滴法：通过光学系统测量静止液滴在固体表面的接触角。

悬滴法：用于测量高粘度液体或高温条件下的接触角。

倾斜板法：通过倾斜样品台测定动态接触角及滚动行为。

Wilhelmy板法：通过力传感器计算材料表面能及动态润湿性。

Young-Laplace拟合：分析液滴轮廓以精确计算接触角。

高速摄像法：记录液滴冲击表面时的瞬态润湿行为。

环境控制法：在特定温湿度条件下测量接触角变化。

多液滴统计法：通过阵列测量评估表面均匀性。

化学滴定法：结合不同测试液体计算表面能分量。

AFM联用法：联合原子力显微镜分析表面形貌与润湿性关联。

XPS辅助法：通过光电子能谱验证表面化学组成影响。

温度扫描法：研究温度梯度对接触角的动态影响。

时间序列法：监测接触角随时间变化的衰减特性。

紫外处理法：评估光催化表面对接触角的调控作用。

等离子体处理法：测定表面改性前后的润湿性变化。

检测仪器

接触角测量仪,光学轮廓仪,原子力显微镜,表面张力仪,高速摄像机,环境控制舱,电子天平,X射线光电子能谱仪,红外热像仪,椭偏仪,白光干涉仪,等离子清洗机,紫外臭氧处理仪,恒温恒湿箱,微滴注射系统

北检院部分仪器展示