半导体传感器检漏法泄漏量检测

信息概要

半导体传感器检漏法泄漏量检测是一种高精度的气体或液体泄漏检测技术，广泛应用于工业制造、能源、医疗设备等领域。该检测方法通过半导体传感器对微小泄漏进行快速、准确的识别和量化，确保产品密封性和安全性。检测的重要性在于防止因泄漏导致的安全事故、能源浪费或环境污染，同时满足行业标准和法规要求。

检测项目

泄漏速率, 泄漏点定位, 密封性能, 气体浓度, 压力衰减, 流量变化, 温度影响, 湿度影响, 响应时间, 灵敏度, 重复性, 稳定性, 线性度, 零点漂移, 量程漂移, 抗干扰能力, 寿命测试, 环境适应性, 材料兼容性, 安全阈值

检测范围

工业气体管道, 医疗设备密封件, 汽车燃油系统, 空调制冷系统, 航空航天部件, 电子元器件封装, 石油化工设备, 食品包装容器, 锂电池外壳, 水处理设备, 燃气阀门, 真空系统, 液压系统, 压缩空气系统, 消防设备, 实验室仪器, 半导体制造设备, 核电站部件, 家用电器密封, 太阳能组件

检测方法

压力衰减法：通过监测系统压力变化计算泄漏量。

气泡检测法：将试件浸入液体中观察气泡形成。

氦质谱检漏法：使用氦气作为示踪气体进行高灵敏度检测。

红外热成像法：通过温度分布差异定位泄漏点。

超声波检测法：捕捉泄漏产生的超声波信号。

气体传感器法：利用半导体传感器检测特定气体浓度。

质量流量计法：直接测量泄漏气体的质量流量。

差压法：通过比较两侧压力差判断泄漏。

示踪气体法：注入示踪气体并检测其扩散情况。

真空检漏法：在真空环境下监测压力回升速率。

激光吸收光谱法：利用激光检测气体吸收特性。

声发射检测法：记录泄漏产生的声波信号。

荧光检测法：使用荧光染料可视化泄漏路径。

电化学传感器法：通过电化学反应检测气体泄漏。

气相色谱法：分离并定量分析泄漏气体成分。

检测仪器

半导体气体传感器, 氦质谱检漏仪, 红外热像仪, 超声波检测仪, 质量流量计, 压力传感器, 差压变送器, 气相色谱仪, 激光吸收光谱仪, 声发射传感器, 荧光检测仪, 电化学传感器, 真空计, 示踪气体检测仪, 数据采集系统

北检院部分仪器展示