液晶面板生产SF₆蚀刻气体检测

信息概要

液晶面板生产过程中使用的SF₆（六氟化硫）蚀刻气体是一种高效但具有高全球变暖潜势的温室气体，其泄漏可能对环境和人体健康造成严重影响。第三方检测机构提供专业的SF₆蚀刻气体检测服务，确保生产过程中的气体浓度符合环保与安全标准。检测的重要性在于：防止气体泄漏导致的环境污染，保障工人健康安全，满足国际环保法规要求，以及优化生产工艺以减少气体浪费。

检测项目

SF₆浓度, 气体泄漏率, 环境空气中SF₆含量, 排放口SF₆浓度, 设备密封性, 气体纯度, 残留气体成分, 气体压力, 气体流量, 温度影响, 湿度影响, 气体扩散范围, 工作区域SF₆浓度, 储存容器完整性, 管道泄漏点, 气体回收效率, 排放总量, 设备运行稳定性, 气体使用效率, 安全阀性能

检测范围

液晶面板生产线, 蚀刻工艺设备, 气体储存罐, 输送管道, 排放系统, 回收装置, 净化设备, 通风系统, 工作环境, 周边大气, 安全防护设施, 气体分析仪, 监控系统, 阀门组件, 连接部件, 密封装置, 压力容器, 流量计, 温湿度传感器, 气体检测仪

检测方法

红外光谱法：通过红外吸收特性检测SF₆气体浓度。

气相色谱法：分离并定量分析气体成分。

质谱分析法：高精度检测气体分子质量。

激光吸收光谱法：利用激光测量气体吸收率。

电化学传感器法：实时监测环境中SF₆浓度。

压力衰减法：检测系统密封性和泄漏率。

流量计测量法：监控气体流量变化。

温湿度补偿法：校正环境因素对检测结果的影响。

气体采样袋法：采集气体样本进行实验室分析。

便携式检测仪法：现场快速检测气体浓度。

超声波检测法：通过超声波信号定位泄漏点。

示踪气体法：使用示踪气体评估扩散范围。

静态顶空分析法：测定密闭空间中气体浓度。

动态稀释法：模拟实际条件检测气体排放。

光学成像法：可视化气体泄漏情况。

检测仪器

红外气体分析仪, 气相色谱仪, 质谱仪, 激光气体检测仪, 电化学传感器, 压力传感器, 流量计, 温湿度记录仪, 气体采样袋, 便携式SF₆检测仪, 超声波检漏仪, 示踪气体检测系统, 静态顶空分析仪, 动态稀释校准仪, 光学气体成像仪

北检院部分仪器展示