半导体晶圆厂防静电门禁检测

信息概要

半导体晶圆厂防静电门禁检测是确保晶圆生产环境洁净与安全的关键环节，主要用于防止静电放电（ESD）对精密半导体器件的损害。此类检测通过评估门禁系统的防静电性能、接地效果及人员防护措施，有效降低生产过程中的静电风险。检测的重要性在于：避免因静电导致的晶圆污染或电路损坏，保障良品率，同时符合国际半导体行业标准（如SEMI、IEC等），是晶圆厂质量控制体系的重要组成部分。

检测项目

表面电阻测试，接地电阻测试，静电衰减时间，人体电压测试，静电场强度，离子平衡度，摩擦电压测试，屏蔽效能，接地连续性，泄漏电阻，静电屏蔽性能，环境湿度影响，门禁系统响应时间，防静电地板性能，防静电服装检测，鞋具电阻，手腕带测试，设备接地阻抗，静电消除器效能，电磁兼容性测试

检测范围

防静电门禁闸机，静电消除门，离子风门禁系统，防静电旋转门，三辊闸防静电门，摆闸防静电门，翼闸防静电门，平移式防静电门，快速卷帘防静电门，气闸室防静电门，风淋防静电门，互锁防静电门，智能识别防静电门，防静电玻璃门，金属框架防静电门，防静电帘门，防静电屏蔽门，防静电自动门，防静电手动门，防静电折叠门

检测方法

表面电阻测试法：使用电极测量材料表面电阻值，评估静电消散能力。

接地电阻测试法：通过四线法检测接地系统的导通性与阻抗。

静电衰减测试法：记录电荷从初始值衰减至10%所需时间。

人体行走电压测试：模拟人员行走时产生的静电压峰值。

离子平衡度测试：测量空间内正负离子的平衡状态。

屏蔽效能测试：评估门体对静电场的屏蔽能力。

摩擦起电测试：模拟材料摩擦后产生的静电荷量。

环境湿度影响测试：分析不同湿度下防静电性能变化。

泄漏电阻测试：检测电荷通过接地路径的泄漏效率。

静电消除器效能测试：验证电离设备的电荷中和速度。

电磁兼容性测试：评估门禁系统在电磁干扰下的稳定性。

防静电服装测试：采用人体模型检测服装电荷屏蔽率。

鞋具电阻测试：测量鞋底与接地板间的接触电阻。

手腕带测试：检测佩戴状态下的人体接地电阻。

门禁响应测试：记录触发后门体的动作延迟时间。

检测仪器

表面电阻测试仪，接地电阻测试仪，静电衰减测试仪，静电场强计，离子平衡检测仪，摩擦起电机，屏蔽效能测试系统，泄漏电流测试仪，环境湿度记录仪，电磁兼容测试设备，人体行走电压模拟器，防静电服装测试仪，鞋具电阻测试台，手腕带测试仪，门禁响应时间分析仪

北检院部分仪器展示