蚀刻气体FFKM密封圈等离子体腐蚀试验

信息概要

蚀刻气体FFKM密封圈等离子体腐蚀试验是针对高性能全氟醚橡胶（FFKM）密封圈在等离子体环境中的耐腐蚀性能进行的专项测试。FFKM密封圈广泛应用于半导体、光伏、液晶显示等高端制造领域，其耐腐蚀性能直接关系到设备的密封效果和使用寿命。通过模拟实际工况中的等离子体腐蚀环境，检测FFKM密封圈的物理化学性能变化，评估其在实际应用中的可靠性。此类检测对于确保产品质量、优化材料配方、提高设备运行稳定性具有重要意义，同时也是相关行业质量控制和技术认证的关键环节。

检测项目

耐腐蚀性能, 硬度变化, 拉伸强度, 断裂伸长率, 压缩永久变形, 质量损失率, 表面形貌分析, 化学组成变化, 热稳定性, 气体渗透率, 密封性能, 摩擦系数, 耐磨性, 耐老化性, 耐化学药品性, 电气绝缘性能, 耐辐射性, 尺寸稳定性, 动态密封性能, 低温脆性

检测范围

半导体设备用FFKM密封圈, 光伏设备用FFKM密封圈, 液晶显示设备用FFKM密封圈, 真空设备用FFKM密封圈, 等离子体设备用FFKM密封圈, 腐蚀性气体处理设备用FFKM密封圈, 高温高压设备用FFKM密封圈, 化学机械抛光设备用FFKM密封圈, 蚀刻设备用FFKM密封圈, 离子注入设备用FFKM密封圈, CVD设备用FFKM密封圈, PVD设备用FFKM密封圈, 刻蚀设备用FFKM密封圈, 清洗设备用FFKM密封圈, 晶圆传输设备用FFKM密封圈, 真空阀门用FFKM密封圈, 反应腔室用FFKM密封圈, 气体输送系统用FFKM密封圈, 真空泵用FFKM密封圈, 分析仪器用FFKM密封圈

检测方法

等离子体腐蚀试验：模拟实际工况中的等离子体环境，测试密封圈的耐腐蚀性能

硬度测试：使用硬度计测量材料在腐蚀前后的硬度变化

拉伸试验：通过万能材料试验机测定材料的拉伸强度和断裂伸长率

压缩永久变形测试：评估材料在压缩状态下的恢复能力

热重分析（TGA）：测定材料在高温下的质量损失和热稳定性

傅里叶变换红外光谱（FTIR）：分析材料化学组成的变化

扫描电子显微镜（SEM）：观察材料表面形貌的变化

气体渗透测试：测定材料对特定气体的渗透率

密封性能测试：评估材料在实际工况下的密封效果

摩擦磨损测试：测定材料的摩擦系数和耐磨性能

加速老化试验：评估材料在加速老化条件下的性能变化

化学药品浸泡试验：测试材料对各种化学药品的耐受性

电气性能测试：测定材料的绝缘性能

尺寸稳定性测试：测量材料在腐蚀前后的尺寸变化

低温性能测试：评估材料在低温环境下的性能表现

检测仪器

等离子体腐蚀试验机, 硬度计, 万能材料试验机, 压缩永久变形测试仪, 热重分析仪, 傅里叶变换红外光谱仪, 扫描电子显微镜, 气体渗透测试仪, 密封性能测试装置, 摩擦磨损试验机, 老化试验箱, 化学药品浸泡装置, 高阻计, 三坐标测量仪, 低温试验箱

北检院部分仪器展示