电子级超纯水偏硅酸含量测试

信息概要

电子级超纯水偏硅酸含量测试是第三方检测机构提供的一项重要服务，主要用于评估超纯水中偏硅酸的浓度水平。偏硅酸是影响电子级超纯水质量的关键指标之一，其含量过高可能导致半导体、集成电路等电子元器件生产过程中的污染风险。检测偏硅酸含量对于确保电子行业生产用水的高纯度和稳定性至关重要，能够有效避免因水质问题导致的产品性能下降或生产故障。

检测项目

偏硅酸含量，总硅含量，溶解硅含量，悬浮硅含量，pH值，电导率，总有机碳（TOC），重金属含量，钠离子含量，钾离子含量，钙离子含量，镁离子含量，氯离子含量，硫酸根离子含量，硝酸根离子含量，氨氮含量，颗粒物浓度，细菌总数，内毒素含量，氧化还原电位

检测范围

电子级超纯水，半导体生产用水，集成电路清洗用水，光伏行业超纯水，液晶显示面板清洗用水，微电子行业超纯水，晶圆加工用水，电子元器件清洗用水，光刻胶稀释用水，化学机械抛光用水，实验室超纯水，医药注射用水，生物制药用水，食品级超纯水，化妆品生产用水，电镀行业超纯水，电池生产用水，光学玻璃清洗用水，纳米材料制备用水，精密仪器清洗用水

检测方法

分光光度法：通过硅钼蓝显色反应测定偏硅酸含量。

离子色谱法：利用色谱分离技术检测硅酸根离子浓度。

原子吸收光谱法：通过硅元素的特征吸收光谱进行定量分析。

电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）：高灵敏度检测痕量硅元素。

石墨炉原子吸收光谱法：适用于超低浓度硅的测定。

比色法：基于硅酸与钼酸盐的显色反应。

浊度法：通过测量硅酸形成的悬浮物浊度来定量。

荧光法：利用硅酸与特定试剂的荧光反应进行检测。

电化学法：通过电极响应测定硅酸浓度。

流动注射分析法：自动化程度高的快速检测方法。

X射线荧光光谱法：非破坏性检测硅元素含量。

中子活化分析法：高精度的核分析方法。

激光诱导击穿光谱法：快速原位检测技术。

毛细管电泳法：高效分离检测硅酸根离子。

质谱联用技术：结合色谱分离与质谱检测的高灵敏度方法。

检测仪器

紫外可见分光光度计，离子色谱仪，原子吸收光谱仪，电感耦合等离子体质谱仪，石墨炉原子吸收光谱仪，荧光分光光度计，电化学分析仪，流动注射分析仪，X射线荧光光谱仪，中子活化分析仪，激光诱导击穿光谱仪，毛细管电泳仪，高效液相色谱仪，气相色谱-质谱联用仪，总有机碳分析仪

北检院部分仪器展示