半导体工艺气体（WF₆/C₄F₈）腐蚀试验

信息概要

检测项目

气体纯度, 腐蚀速率, 残留物分析, 颗粒物含量, 水分含量, 氧含量, 氮含量, 碳含量, 氟化物浓度, 金属离子浓度, 酸度, 碱度, 密度, 粘度, 蒸气压, 沸点, 熔点, 电导率, 热稳定性, 化学反应活性

检测范围

六氟化钨（WF₆）, 八氟环丁烷（C₄F₈）, 氮气（N₂）, 氩气（Ar）, 氢气（H₂）, 氧气（O₂）, 氦气（He）, 三氟化氮（NF₃）, 四氟化碳（CF₄）, 六氟乙烷（C₂F₆）, 三氟甲烷（CHF₃）, 二氟甲烷（CH₂F₂）, 一氧化碳（CO）, 二氧化碳（CO₂）, 硫化氢（H₂S）, 氨气（NH₃）, 硅烷（SiH₄）, 硼烷（B₂H₆）, 磷化氢（PH₃）, 砷化氢（AsH₃）

检测方法

气相色谱法（GC）：用于分析气体成分和纯度。

质谱法（MS）：检测气体中的微量杂质和同位素。

红外光谱法（IR）：鉴定气体分子结构和官能团。

紫外可见分光光度法（UV-Vis）：测定气体中特定成分的浓度。

原子吸收光谱法（AAS）：分析气体中的金属离子含量。

电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）：检测超痕量金属杂质。

电化学分析法：测量气体的电导率和腐蚀性。

热重分析法（TGA）：评估气体的热稳定性。

差示扫描量热法（DSC）：分析气体的热力学性质。

X射线衍射法（XRD）：鉴定腐蚀产物的晶体结构。

扫描电子显微镜（SEM）：观察材料表面腐蚀形貌。

能量色散X射线光谱（EDX）：分析腐蚀区域的元素组成。

拉曼光谱法：研究气体分子振动模式。

库仑法：测定气体中的水分含量。

激光散射法：检测气体中的颗粒物浓度。

检测仪器

气相色谱仪, 质谱仪, 红外光谱仪, 紫外可见分光光度计, 原子吸收光谱仪, 电感耦合等离子体质谱仪, 电化学分析仪, 热重分析仪, 差示扫描量热仪, X射线衍射仪, 扫描电子显微镜, 能量色散X射线光谱仪, 拉曼光谱仪, 库仑水分仪, 激光颗粒计数器

北检院部分仪器展示