OLED蒸镀掩膜版套刻精度测试

信息概要

OLED蒸镀掩膜版套刻精度测试是OLED显示屏制造过程中的关键质量控制环节，主要用于评估掩膜版在蒸镀工艺中的对位精度和图案重合度。该测试直接影响到OLED器件的分辨率、亮度和色彩表现，是确保产品良率和性能的重要指标。第三方检测机构通过专业设备和方法，为客户提供客观、准确的套刻精度数据，帮助优化生产工艺并降低缺陷率。

检测项目

套刻偏差X轴方向, 套刻偏差Y轴方向, 套刻角度偏差, 图案重合度, 边缘清晰度, 线宽均匀性, 图案形变率, 蒸镀厚度一致性, 掩膜版热膨胀系数, 材料应力分布, 表面粗糙度, 缺陷密度, 重复定位精度, 环境稳定性, 使用寿命评估, 抗污染性能, 透光率均匀性, 图形畸变率, 对位标记精度, 蒸镀材料附着力

检测范围

Fine Metal Mask (FMM), Open Mask, Hybrid Mask, 精密金属掩膜版, 树脂掩膜版, 复合材质掩膜版, 大尺寸掩膜版, 中小尺寸掩膜版, 柔性掩膜版, 刚性掩膜版, RGB蒸镀掩膜版, 白光蒸镀掩膜版, 顶部发光掩膜版, 底部发光掩膜版, 透明掩膜版, 半透明掩膜版, 高精度掩膜版, 量产型掩膜版, 原型开发掩膜版, 多图案复合掩膜版

检测方法

光学显微镜检测法：通过高倍率光学显微镜观察套刻标记的对位情况。

激光干涉仪测量法：利用激光干涉原理测量掩膜版的位置偏差。

图像处理分析法：通过CCD采集图像并计算图案重合度。

轮廓投影仪检测法：使用投影放大技术测量图形边缘精度。

扫描电子显微镜(SEM)检测：高分辨率观察微观套刻精度。

X射线衍射法：分析掩膜版材料应力导致的形变。

热机械分析(TMA)：评估温度变化对套刻精度的影响。

白光干涉仪测量：检测表面形貌和蒸镀厚度。

接触式轮廓仪测量：直接测量掩膜版表面特征。

非接触式三维测量：利用光学原理进行三维形貌重建。

环境试验箱测试：模拟不同温湿度条件下的性能变化。

加速寿命测试：评估掩膜版在长期使用后的精度保持能力。

材料成分分析：通过EDS等手段分析掩膜版材料组成。

有限元模拟分析：预测掩膜版在工艺中的变形情况。

动态性能测试：评估掩膜版在运动状态下的定位精度。

检测仪器

高精度光学测量仪, 激光干涉仪, 扫描电子显微镜, 轮廓投影仪, 白光干涉仪, X射线衍射仪, 热机械分析仪, 环境试验箱, 材料分析显微镜, 非接触式三维测量系统, 接触式轮廓仪, 图像处理分析系统, 有限元分析软件, 动态性能测试平台, 加速老化试验设备

北检院部分仪器展示