半导体洁净车间AMC气溶胶监测

信息概要

半导体洁净车间AMC气溶胶监测是确保生产环境空气质量符合高标准要求的关键环节。AMC（Airborne Molecular Contamination）指空气中存在的分子级污染物，可能对半导体制造过程造成严重影响。第三方检测机构通过专业设备和技术手段，对洁净车间内的气溶胶污染物进行精准监测，确保生产环境的洁净度达标。检测的重要性在于避免污染物对晶圆表面的损害，提高产品良率，同时满足行业标准及客户要求。

检测项目

总挥发性有机化合物（TVOC）, 氨气（NH3）, 硫化氢（H2S）, 二氧化硫（SO2）, 氮氧化物（NOx）, 臭氧（O3）, 甲醛（HCHO）, 苯系物（BTEX）, 氯化氢（HCl）, 氟化氢（HF）, 磷酸盐（PO4）, 硅氧烷（Siloxanes）, 颗粒物（PM2.5/PM10）, 重金属（如铅、镉、汞）, 酸性气体（如HNO3、H2SO4）, 碱性气体（如NH3、胺类）, 碳氢化合物（HC）, 硫化物（如CS2、COS）, 卤代烃（如CFC、HCFC）, 多环芳烃（PAHs）

检测范围

半导体制造车间, 晶圆加工区, 光刻区, 刻蚀区, 沉积区, 清洗区, 封装区, 无尘室, 空调系统, 通风管道, 气体供应系统, 化学品存储区, 废水处理区, 废气排放口, 设备内部环境, 人员操作区, 物料传输区, 实验室环境, 洁净走廊, 更衣室

检测方法

气相色谱-质谱联用法（GC-MS）：用于检测挥发性有机化合物和半挥发性有机化合物。

高效液相色谱法（HPLC）：适用于分析高沸点或热不稳定的有机污染物。

离子色谱法（IC）：用于检测无机阴阳离子，如氟化物、氯化物等。

傅里叶变换红外光谱法（FTIR）：实时监测多种气体污染物。

紫外-可见分光光度法（UV-Vis）：测定特定气体或颗粒物的浓度。

原子吸收光谱法（AAS）：用于重金属元素的定量分析。

电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）：高灵敏度检测痕量金属元素。

激光粒子计数器：实时监测空气中颗粒物的数量和粒径分布。

静电计法：测量带电颗粒物的浓度。

化学发光法：用于检测氮氧化物和臭氧等气体。

电化学传感器法：实时监测特定气体浓度。

β射线吸收法：测定颗粒物质量浓度。

光散射法：快速检测空气中颗粒物的浓度。

被动采样法：长期监测低浓度污染物。

活性炭吸附-溶剂解析法：采集并分析有机污染物。

检测仪器

气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）, 高效液相色谱仪（HPLC）, 离子色谱仪（IC）, 傅里叶变换红外光谱仪（FTIR）, 紫外-可见分光光度计（UV-Vis）, 原子吸收光谱仪（AAS）, 电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）, 激光粒子计数器, 静电计, 化学发光分析仪, 电化学气体传感器, β射线吸收仪, 光散射颗粒物监测仪, 被动采样器, 活性炭吸附管

北检院部分仪器展示