碳化硅晶圆切割残余应变（拉曼光谱）

信息概要

碳化硅晶圆切割残余应变（拉曼光谱）检测是一项针对碳化硅晶圆在切割过程中产生的残余应力的精密分析服务。碳化硅晶圆作为第三代半导体材料的关键基底，其切割质量直接影响器件的性能和可靠性。通过拉曼光谱技术，可以非破坏性地检测晶圆表面的残余应变分布，评估切割工艺的优化程度，确保晶圆的结构完整性和电学性能。该检测对于提高碳化硅器件的良率、延长使用寿命以及降低生产成本具有重要意义。

检测项目

残余应力分布，应变梯度，晶格畸变，切割面粗糙度，表面缺陷密度，晶向一致性，应力集中区域，切割裂纹深度，热影响区范围，晶圆翘曲度，微观应变场，宏观应变场，应力弛豫程度，切割方向相关性，晶界应力分布，表面能变化，残余应力各向异性，应变均匀性，切割工艺参数影响，晶圆厚度均匀性

检测范围

4H-SiC晶圆，6H-SiC晶圆，N型碳化硅晶圆，P型碳化硅晶圆，半绝缘碳化硅晶圆，单面抛光碳化硅晶圆，双面抛光碳化硅晶圆，低阻碳化硅晶圆，高阻碳化硅晶圆，外延用碳化硅晶圆，功率器件用碳化硅晶圆，射频器件用碳化硅晶圆，传感器用碳化硅晶圆，LED用碳化硅晶圆，太阳能电池用碳化硅晶圆，厚膜碳化硅晶圆，薄膜碳化硅晶圆，异质结碳化硅晶圆，掺杂碳化硅晶圆，非掺杂碳化硅晶圆

检测方法

拉曼光谱法：通过激光激发样品的拉曼散射，分析频移变化以计算残余应变。

X射线衍射法：利用X射线衍射峰位偏移测定晶格应变。

显微红外光谱法：通过红外吸收峰位移评估局部应力状态。

光致发光光谱法：检测带边发射峰位移反映应变场分布。

原子力显微镜法：通过表面形貌扫描间接评估应力影响。

电子背散射衍射法：分析晶格取向变化推导应变张量。

微区拉曼Mapping：进行二维面扫描获取应变空间分布。

共聚焦拉曼光谱法：提高纵向分辨率实现三维应变分析。

偏振拉曼光谱法：通过偏振配置解析各向异性应变。

高温拉曼光谱法：研究温度对应力弛豫的影响。

纳米压痕法：通过力学响应反推残余应力。

激光超声法：利用声速变化表征应力状态。

数字图像相关法：通过表面位移场计算应变分布。

莫尔干涉法：测量晶格畸变引起的干涉条纹变化。

同步辐射衍射法：高精度测定深层晶格应变。

检测仪器

激光共聚焦拉曼光谱仪，X射线衍射仪，傅里叶变换红外光谱仪，光致发光光谱仪，原子力显微镜，扫描电子显微镜，电子背散射衍射系统，显微拉曼光谱仪，纳米压痕仪，激光超声检测系统，数字图像相关系统，莫尔干涉仪，同步辐射光源，高分辨率光学显微镜，三维表面轮廓仪

北检院部分仪器展示