深紫外激光强度测试

信息概要

深紫外激光强度测试是针对深紫外激光器输出性能的关键检测项目，主要用于评估激光器的稳定性、能量分布及光束质量。该测试在半导体制造、医疗设备、科研实验等领域具有重要应用价值。通过专业检测，可确保激光设备符合行业标准，提高工艺精度，避免因激光强度不稳定导致的设备损坏或生产缺陷。

检测项目

激光输出功率，光束发散角，脉冲宽度，重复频率，波长稳定性，能量均匀性，峰值功率，平均功率，光束质量因子M²，光斑尺寸，偏振度，脉冲稳定性，光谱纯度，光束指向稳定性，能量密度，功率稳定性，脉冲能量，光束畸变，空间模式，时间抖动

检测范围

准分子激光器，固态深紫外激光器，气体深紫外激光器，半导体深紫外激光器，光纤深紫外激光器，飞秒深紫外激光器，皮秒深紫外激光器，连续深紫外激光器，脉冲深紫外激光器，可调谐深紫外激光器，高功率深紫外激光器，低功率深紫外激光器，工业用深紫外激光器，医疗用深紫外激光器，科研用深紫外激光器，便携式深紫外激光器，固定式深紫外激光器，窄线宽深紫外激光器，宽调谐深紫外激光器，多波长深紫外激光器

检测方法

功率计法：使用高精度功率计直接测量激光输出功率。

光束分析仪法：通过CCD或扫描狭缝分析光束质量与光斑分布。

光谱分析法：利用光谱仪检测激光波长及光谱纯度。

脉冲测量法：采用快速光电探测器与示波器测量脉冲特性。

M²因子测试法：通过聚焦光束腰测量计算光束质量因子。

偏振检测法：使用偏振片与探测器分析激光偏振状态。

能量均匀性扫描法：通过二维扫描平台评估光束能量分布均匀性。

时间抖动分析法：利用时间相关单光子计数技术测量脉冲时间抖动。

波长稳定性监测法：长时间连续记录波长漂移情况。

发散角测量法：基于远场光斑尺寸计算光束发散角。

峰值功率计算法：结合脉冲能量与宽度推算峰值功率。

重复频率检测法：通过频率计数器测量脉冲重复频率。

空间模式分析法：利用模式分解技术识别激光横模结构。

指向稳定性测试法：记录光束中心位置随时间的变化。

能量密度计算法：根据光斑尺寸与能量输出计算能量密度。

检测仪器

激光功率计，光束质量分析仪，光谱仪，高速示波器，光电探测器，偏振分析仪，能量计，脉冲测量系统，波长计，发散角测量仪，M²因子测试仪，时间相关单光子计数器，二维扫描平台，频率计数器，模式分析仪

北检院部分仪器展示