化学气相沉积金刚石膜洛氏硬度实验

信息概要

检测项目

洛氏硬度，用于测量薄膜的表面硬度；维氏硬度，评估薄膜的微观硬度；膜厚，测定薄膜的厚度均匀性；附着力，检测薄膜与基体的结合强度；表面粗糙度，分析薄膜的表面质量；耐磨性，评估薄膜的耐磨性能；摩擦系数，测定薄膜的摩擦特性；残余应力，分析薄膜的内部应力状态；化学成分，检测薄膜的元素组成；晶体结构，分析薄膜的晶相组成；热稳定性，评估薄膜在高温下的性能；耐腐蚀性，检测薄膜的化学稳定性；光学透过率，测定薄膜的光学性能；电导率，评估薄膜的导电性能；介电常数，分析薄膜的介电特性；断裂韧性，测定薄膜的抗断裂能力；弹性模量，评估薄膜的弹性性能；密度，测定薄膜的物理密度；孔隙率，分析薄膜的致密性；热导率，评估薄膜的导热性能；抗冲击性，检测薄膜的抗冲击能力；耐疲劳性，评估薄膜的疲劳寿命；表面能，分析薄膜的表面特性；硬度梯度，测定薄膜硬度随厚度的变化；均匀性，评估薄膜的性能分布；界面特性，分析薄膜与基体的界面状态；抗粘附性，检测薄膜的抗粘附性能；抗老化性，评估薄膜的长期稳定性；生物相容性，分析薄膜的生物性能；辐射稳定性，检测薄膜的抗辐射性能；环境适应性，评估薄膜在不同环境下的性能。

检测范围

单晶金刚石膜，多晶金刚石膜，纳米晶金刚石膜，超纳米晶金刚石膜，掺硼金刚石膜，掺氮金刚石膜，掺硅金刚石膜，掺钨金刚石膜，掺钛金刚石膜，掺铬金刚石膜，掺铝金刚石膜，掺铜金刚石膜，掺银金刚石膜，掺金金刚石膜，掺铂金刚石膜，掺钯金刚石膜，掺铁金刚石膜，掺镍金刚石膜，掺钴金刚石膜，掺锌金刚石膜，掺锡金刚石膜，掺锗金刚石膜，掺镓金刚石膜，掺铟金刚石膜，掺铪金刚石膜，掺钽金刚石膜，掺钼金刚石膜，掺铌金刚石膜，掺钒金刚石膜，掺稀土金刚石膜。

检测方法

洛氏硬度测试法，通过压痕深度测量硬度；维氏硬度测试法，利用显微压痕评估硬度；X射线衍射法，分析晶体结构；扫描电子显微镜法，观察表面形貌；原子力显微镜法，测定表面粗糙度；拉曼光谱法，检测化学成分；红外光谱法，分析分子结构；紫外可见分光光度法，测定光学性能；电化学阻抗谱法，评估耐腐蚀性；热重分析法，测定热稳定性；差示扫描量热法，分析热性能；纳米压痕法，测量弹性模量；划痕测试法，评估附着力；摩擦磨损测试法，测定耐磨性；残余应力测试法，分析内部应力；孔隙率测试法，评估致密性；电导率测试法，测定导电性能；介电谱法，分析介电特性；断裂韧性测试法，评估抗断裂能力；抗冲击测试法，检测抗冲击性能。

检测仪器

洛氏硬度计，维氏硬度计，X射线衍射仪，扫描电子显微镜，原子力显微镜，拉曼光谱仪，红外光谱仪，紫外可见分光光度计，电化学工作站，热重分析仪，差示扫描量热仪，纳米压痕仪，划痕测试仪，摩擦磨损试验机，残余应力测试仪。

北检院部分仪器展示