半导体气体管路压差实验

信息概要

半导体气体管路压差实验是确保半导体制造过程中气体输送系统安全性与稳定性的关键检测项目。该实验主要针对气体管路系统的密封性、压差稳定性及气体纯度进行检测，以防止气体泄漏、污染或压力波动对生产工艺造成影响。检测的重要性在于保障半导体设备的正常运行，避免因气体管路问题导致的产品缺陷或生产事故，同时满足行业标准与法规要求。

检测项目

管路密封性检测，压差稳定性测试，气体纯度分析，流量均匀性检测，泄漏率测试，压力衰减测试，气体成分分析，管路耐压测试，气体流速测量，温度影响测试，湿度影响测试，振动影响测试，管路材质兼容性测试，气体残留量检测，颗粒物污染检测，氧含量测试，水分含量测试，氮气纯度测试，氢气纯度测试，氩气纯度测试

检测范围

高纯度气体管路，特种气体管路，惰性气体管路，腐蚀性气体管路，可燃气体管路，有毒气体管路，真空管路，中央供气系统管路，分支气体管路，气体分配箱，气体控制阀组，气体过滤器，气体减压阀，气体混合器，气体纯化器，气体分析仪连接管路，气体采样管路，气体回收管路，气体排放管路，气体缓冲罐连接管路

检测方法

压差法：通过测量管路两端压差评估系统密封性。

气泡法：利用气泡检测液检查管路连接处的泄漏。

质谱法：通过质谱仪分析气体成分及纯度。

压力衰减法：监测系统压力随时间的变化判断泄漏。

流量计法：使用流量计测量气体流速与均匀性。

气相色谱法：分析气体中杂质成分及含量。

露点仪法：检测气体中的水分含量。

激光散射法：测量管路中颗粒物污染程度。

氧分析仪法：测定气体中的氧含量。

氢分析仪法：测定气体中的氢含量。

氦检漏法：使用氦气作为示踪气体检测微小泄漏。

振动测试法：评估管路在振动环境下的密封性能。

温度循环法：测试管路在温度变化下的稳定性。

耐压测试法：施加高压检验管路承压能力。

气体兼容性测试：评估管路材质与气体的化学反应。

检测仪器

压差计，质谱仪，气相色谱仪，流量计，露点仪，激光颗粒计数器，氧分析仪，氢分析仪，氦质谱检漏仪，压力传感器，温度传感器，湿度传感器，振动测试仪，气体纯度分析仪，气体采样泵

北检院部分仪器展示