硅烷混合气体均匀性检测

信息概要

检测项目

硅烷浓度检测（测量混合气体中硅烷的体积分数），氢气浓度检测（测定混合气体中氢气的含量），氮气浓度检测（分析混合气体中氮气的比例），氧气浓度检测（检测混合气体中氧气的残留量），水分含量检测（测定气体中的水蒸气浓度），颗粒物含量检测（分析气体中的固体颗粒物浓度），总碳氢化合物检测（测量气体中碳氢化合物的总量），一氧化碳浓度检测（测定混合气体中一氧化碳的含量），二氧化碳浓度检测（分析混合气体中二氧化碳的比例），氯气浓度检测（检测混合气体中氯气的残留量），氟气浓度检测（测定混合气体中氟气的含量），氨气浓度检测（分析混合气体中氨气的比例），氩气浓度检测（检测混合气体中氩气的残留量），氦气浓度检测（测定混合气体中氦气的含量），甲烷浓度检测（分析混合气体中甲烷的比例），乙烷浓度检测（检测混合气体中乙烷的残留量），丙烷浓度检测（测定混合气体中丙烷的含量），丁烷浓度检测（分析混合气体中丁烷的比例），乙烯浓度检测（检测混合气体中乙烯的残留量），丙烯浓度检测（测定混合气体中丙烯的含量），乙炔浓度检测（分析混合气体中乙炔的比例），苯浓度检测（检测混合气体中苯的残留量），甲苯浓度检测（测定混合气体中甲苯的含量），二甲苯浓度检测（分析混合气体中二甲苯的比例），硫化氢浓度检测（检测混合气体中硫化氢的残留量），二氧化硫浓度检测（测定混合气体中二氧化硫的含量），氮氧化物浓度检测（分析混合气体中氮氧化物的比例），磷化氢浓度检测（检测混合气体中磷化氢的残留量），砷化氢浓度检测（测定混合气体中砷化氢的含量），硼烷浓度检测（分析混合气体中硼烷的比例）。

检测范围

硅烷-氢气混合气体，硅烷-氮气混合气体，硅烷-氩气混合气体，硅烷-氦气混合气体，硅烷-氧气混合气体，硅烷-甲烷混合气体，硅烷-乙烷混合气体，硅烷-丙烷混合气体，硅烷-丁烷混合气体，硅烷-乙烯混合气体，硅烷-丙烯混合气体，硅烷-乙炔混合气体，硅烷-苯混合气体，硅烷-甲苯混合气体，硅烷-二甲苯混合气体，硅烷-硫化氢混合气体，硅烷-二氧化硫混合气体，硅烷-氮氧化物混合气体，硅烷-磷化氢混合气体，硅烷-砷化氢混合气体，硅烷-硼烷混合气体，硅烷-氯气混合气体，硅烷-氟气混合气体，硅烷-氨气混合气体，硅烷-一氧化碳混合气体，硅烷-二氧化碳混合气体，硅烷-总碳氢化合物混合气体，硅烷-颗粒物混合气体，硅烷-水分混合气体，硅烷-氖气混合气体。

检测方法

气相色谱法（通过色谱分离技术测定气体成分浓度）

质谱法（利用质谱仪分析气体中的分子和原子质量）

红外光谱法（通过红外吸收光谱测定气体成分）

紫外光谱法（利用紫外吸收光谱分析气体成分）

激光吸收光谱法（通过激光测量气体吸收特性）

电化学传感器法（使用电化学传感器检测特定气体浓度）

热导检测法（通过热导率差异测定气体成分）

火焰离子化检测法（利用火焰离子化检测碳氢化合物）

光离子化检测法（通过光离子化检测挥发性有机物）

化学发光法（利用化学反应发光测定气体成分）

电化学分析法（通过电化学反应测量气体浓度）

核磁共振法（利用核磁共振技术分析气体成分）

拉曼光谱法（通过拉曼散射光谱测定气体成分）

X射线荧光法（利用X射线荧光分析气体中的元素）

离子迁移谱法（通过离子迁移率测定气体成分）

声波检测法（利用声波特性分析气体浓度）

湿度传感器法（通过湿度传感器测定气体中的水分）

颗粒计数器法（利用颗粒计数器分析气体中的颗粒物）

重量分析法（通过重量变化测定气体中的颗粒物浓度）

滴定法（利用化学滴定测定气体中的特定成分）

检测仪器

气相色谱仪，质谱仪，红外光谱仪，紫外光谱仪，激光吸收光谱仪，电化学传感器，热导检测器，火焰离子化检测器，光离子化检测器，化学发光分析仪，电化学分析仪，核磁共振仪，拉曼光谱仪，X射线荧光仪，离子迁移谱仪。

北检院部分仪器展示