电子级硫酸检测

信息概要

电子级硫酸是一种高纯度硫酸，主要用于半导体、集成电路、光伏和液晶显示器等电子制造领域，其纯度通常要求达到99.999%以上，杂质含量需控制在ppt级别。检测的重要性在于确保硫酸的纯度、金属离子含量、颗粒物等关键指标符合GB/T 41881-2022等标准要求，避免杂质对电子器件性能造成短路、绝缘失效或电路污染等问题。第三方检测机构通过专业仪器和方法，为电子级硫酸的生产、应用提供质量控制支持，保障电子产业的稳定发展。

检测项目

硫酸含量，金属离子（钠、钙、铜、铁、铬、锌、镍、钾、镁、铝、铅、锰、钴、钼、锡、锑、钛、钒、银、镉），非金属杂质（氯化物、硝酸盐、磷酸盐、铵盐、硅酸盐、氟化物、溴化物、碘化物、硫酸盐、亚硫酸盐、碳酸盐、有机碳、硼、砷、硒、碲、硫化物、氰化物、亚硝酸盐、过氧化物），颗粒物（粒径0.1μm、0.2μm、0.5μm、1μm、2μm、5μm、10μm），色度，透明度，密度，电导率，沸点，闪点，挥发性有机物，还原性物质，氧化性物质，总酸度，游离酸度，水分含量。

检测范围

电子级硫酸EL级，电子级硫酸VL级，电子级硫酸UL级，电子级硫酸SL级，电子级硫酸XL级，半导体用电子级硫酸，光伏用电子级硫酸，液晶显示器用电子级硫酸，集成电路用电子级硫酸，芯片用电子级硫酸，高纯电子级硫酸，超纯电子级硫酸，工业级硫酸，试剂级硫酸，光伏刻蚀用硫酸，半导体清洗用硫酸，晶圆加工用硫酸，微电子用硫酸，显示面板用硫酸，太阳能电池用硫酸。

检测方法

电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）：用于痕量金属离子检测，灵敏度达ppt级。

原子吸收光谱法（AAS）：测定特定金属元素含量，适用于常规金属杂质分析。

离子色谱法（IC）：检测非金属阴离子如氯化物、硝酸盐等。

高效液相色谱法（HPLC）：分析有机杂质及部分无机离子。

激光粒度分析法：测定溶液中颗粒物的粒径分布及数量。

紫外-可见分光光度法（UV-Vis）：用于色度、透明度及部分杂质定性分析。

滴定法：测定总酸度、游离酸度及浓度。

卡尔费休水分测定法：精确检测水分含量。

气相色谱法（GC）：分析挥发性有机物及部分还原性物质。

X射线荧光光谱法（XRF）：快速筛查元素组成。

质谱法（MS）：配合其他技术用于痕量杂质鉴定。

电导率仪法：评估溶液的电导率指标。

密度计法：测定硫酸的密度参数。

浊度计法：量化溶液的浑浊度。

自动电位滴定法：自动化酸度及浓度测定。

检测仪器

电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS），原子吸收光谱仪（AAS），离子色谱仪（IC），高效液相色谱仪（HPLC），激光粒度仪，紫外-可见分光光度计（UV-Vis），自动滴定仪，卡尔费休水分测定仪，气相色谱仪（GC），X射线荧光光谱仪（XRF），质谱仪（MS），电导率仪，密度计，浊度计，自动电位滴定仪。

北检院部分仪器展示