电子级PGMEA检测

信息概要

电子级丙二醇甲醚乙酸酯（PGMEA）是一种高纯度溶剂，广泛应用于半导体制造中的光刻工艺，作为正性光刻胶的关键溶剂，其纯度直接影响光刻胶的分辨率和图案保真度。第三方检测机构通过专业设备和技术手段，对PGMEA的物理性能、化学纯度、环境适应性等核心指标进行全面检测，确保其符合SEMI G4等国际标准。检测的重要性在于：高纯度PGMEA能减少制造过程中的缺陷，提升芯片良率；同时满足环保法规对挥发性有机化合物（VOC）的限制，助力半导体产业链的可靠性与可持续发展。

检测项目

纯度, 水分含量, 金属离子含量（钠、钾、铁等）, 酸值, 色度, 密度, 沸点, 闪点, 折射率, 粘度, 蒸发残留物, 不挥发物, 氯离子含量, 硫酸盐含量, 颗粒物数量, 总有机碳（TOC）, 挥发性有机物（VOC）, 紫外吸光度, 稳定性, 相容性, 毒性评估, 环境适应性（高温、低温、湿度）, 电导率, 氧化稳定性, 微生物污染

检测范围

高纯PGMEA（纯度≥99.5%）, 超高纯PGMEA（纯度≥99.9%）, 工业级PGMEA, 半导体级PGMEA, 光刻胶专用PGMEA, 液晶显示器用PGMEA, 电子封装用PGMEA, 纳米级PGMEA, 低VOC型PGMEA, 环保型PGMEA, 高温稳定型PGMEA, 低金属离子型PGMEA, 低颗粒型PGMEA, 高沸点型PGMEA, 低毒性PGMEA, 定制化PGMEA, 进口PGMEA, 国产PGMEA, 实验室级PGMEA, 量产级PGMEA

检测方法

气相色谱法（GC）：用于分析挥发性和半挥发性有机物含量，检测纯度及杂质分布。

高效液相色谱法（HPLC）：测定非挥发性杂质和添加剂，评估溶剂稳定性。

原子吸收光谱法（AAS）：精确检测钠、钾等金属离子含量，确保半导体工艺兼容性。

电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）：超痕量金属元素分析，灵敏度达ppb级。

卡尔费休滴定法：测定水分含量，避免水分影响光刻胶性能。

紫外-可见分光光度法（UV-Vis）：评估溶剂色度和紫外吸光度，判断光学纯度。

激光颗粒计数器：检测颗粒物数量和尺寸分布，符合芯片制造洁净度要求。

离子色谱法（IC）：分析氯离子、硫酸根等阴离子杂质。

密度计法：测量溶剂密度，验证批次一致性。

折射率测定法：通过折射率变化评估纯度与组成。

闪点测试仪：测定闪点，评估运输和储存安全性。

粘度计法：监控粘度变化，确保工艺稳定性。

环境模拟测试：高温、低温、湿度循环测试，验证环境适应性。

总有机碳分析仪（TOC）：量化有机污染物总量。

微生物培养法：检测微生物污染，避免生物性缺陷。

检测仪器

气相色谱仪, 高效液相色谱仪, 原子吸收光谱仪, 电感耦合等离子体质谱仪, 卡尔费休水分测定仪, 紫外-可见分光光度计, 激光颗粒计数器, 离子色谱仪, 密度计, 折射仪, 闪点测试仪, 旋转粘度计, 恒温恒湿箱, 总有机碳分析仪, 微生物培养箱

北检院部分仪器展示