电子级气体检测

信息概要

电子级气体检测是半导体、光伏、电子元器件制造等高科技产业质量控制的核心环节，主要针对高纯度气体中的杂质含量、成分比例及物理化学性质进行精准分析。这类检测直接关系到芯片良率、设备寿命及工艺稳定性，例如在光刻工艺中，极微量杂质可能导致晶圆缺陷，因此需通过第三方检测机构（如深圳赛特检测、安捷伦等）确保气体符合ISO 14600、GB/T 14600-2025等国际国内标准。检测涵盖惰性气体、反应气体及特殊电子气体，通过热脱附-GCMS、红外光谱等先进技术实现ppb级检出限，助力企业规避生产风险并满足环保合规要求。

检测项目

总烃含量, 氧含量, 氮含量, 一氧化碳含量, 二氧化碳含量, 水分含量, 氢含量, 氨含量, 一氧化氮含量, 二氧化氮含量, 四氢呋喃, 环己酮, 甲醛, 乙醛, 丙烯醛, 苯系物（甲苯/二甲苯/乙苯）, TVOC总量, 氩纯度, 氪纯度, 氙纯度, 氦纯度, 霓虹灯气体成分, 爆炸下限, 体积比, 职业接触限值, 立即威胁生命和健康浓度

检测范围

氪, 氙, 氩, 霓虹灯, 氦气, 一氧化二氮, 六氟化硫, 三氟化氮, 硅烷, 磷化氢, 砷化氢, 氨气, 氯化氢, 氟化氢, 二氧化碳, 氧气, 氮气, 氢气, 甲烷, 乙烷, 丙烷, 丁烷, 乙烯, 丙烯

检测方法

热脱附-GCMS联用技术：通过热脱附仪释放气体成分，结合气相色谱-质谱联用定性定量分析

红外光谱法：利用分子振动吸收特性检测气体成分，适用于惰性气体纯度分析

电化学传感器法：通过电极反应测量特定气体浓度，如氧气、有毒气体

催化燃烧法：检测可燃气体浓度，基于燃烧热变化原理

PID光离子化检测：对VOC气体高灵敏度检测，检出限达ppb级

液相色谱法：分离测定醛酮类化合物，如甲醛、乙醛

非接触式光学检测：避免采样干扰，适用于腐蚀性气体

气相色谱法：分离复杂气体混合物，配合TCD/FID检测器

激光吸收光谱：高精度测量水分、痕量气体

质谱分析法：全组分扫描，确定未知杂质

化学发光法：专用于氮氧化物检测

库仑法：测定水分含量，精度达0.1ppm

紫外荧光法：检测硫化物等特定成分

离子色谱法：分析阴离子/阳离子杂质

光声光谱法：痕量气体检测，灵敏度高

检测仪器

Agilent 8890 GC/MS系统, MARKES UNITY-XR热脱附仪, 智能手持式气体分析仪S-Handheld 10, 红外多组分气体传感器SILAREX, 光声光谱气体分析仪SPTr-GAS, 工业级电化学气体分析仪SA-200-EC, 高精度光栅光谱仪, 高功率微焦斑X射线管, 高性能光电倍增管, 高精度真空泵, 高精度编码器, 高精度工业相机, 高精度传感器, 高频检测数据处理软件, 机器视觉图像处理系统

北检院部分仪器展示