光刻胶专用丙酮-紫外吸光度检测

信息概要

光刻胶专用丙酮-紫外吸光度检测是半导体及微电子行业中用于评估丙酮溶剂纯度及适用性的关键分析项目。丙酮作为光刻胶制备和清洗的重要溶剂，其紫外吸光度直接关系到光刻胶的成膜质量、图案分辨率及工艺稳定性。通过检测紫外吸光度，可有效监控丙酮中残留的有机杂质、芳香族化合物或其他紫外吸收物质，避免因溶剂污染导致的光刻胶性能下降或晶圆缺陷。第三方检测机构提供专业、合规的检测服务，确保数据符合SEMI、ISO等国际标准，助力企业优化生产工艺并提升产品良率。

检测项目

紫外吸光度（254nm）, 紫外吸光度（280nm）, 水分含量, 酸度（以乙酸计）, 不挥发物, 色度（铂-钴标度）, 密度（20℃）, 折射率, 沸程, 蒸发残渣, 铁含量, 铜含量, 铅含量, 镍含量, 总有机碳（TOC）, 苯系物残留, 酮类杂质, 醛类杂质, 过氧化物, 荧光物质检测

检测范围

半导体级丙酮, 电子级丙酮, 超纯丙酮, 光刻胶稀释用丙酮, 光刻胶显影用丙酮, 光刻胶清洗用丙酮, 集成电路制造用丙酮, 平板显示行业用丙酮, MEMS工艺用丙酮, 封装测试用丙酮, 纳米压印光刻用丙酮, 深紫外光刻用丙酮, 极紫外光刻用丙酮, 负性光刻胶配套丙酮, 正性光刻胶配套丙酮, 化学放大光刻胶配套丙酮, 厚膜光刻胶配套丙酮, 低温光刻胶配套丙酮, 高温光刻胶配套丙酮, 无金属离子丙酮

检测方法

紫外分光光度法：依据ASTM E1694标准，测定特定波长下吸光度以评估杂质浓度。

卡尔费休滴定法：通过电化学滴定精确测定微量水分含量。

气相色谱法（GC）：分离并定量分析挥发性有机杂质。

电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）：检测金属离子含量至ppb级。

原子吸收光谱法（AAS）：测定特定金属元素如铁、铜等。

重量法：通过蒸发溶剂后称重计算不挥发物含量。

pH计法：采用标准缓冲溶液校准后测量酸度。

密度计法：使用振荡管式密度仪测定溶剂密度。

阿贝折射仪法：测量折射率以验证纯度。

沸点测定法：通过蒸馏装置确定沸程范围。

荧光光谱法：检测可能干扰光刻工艺的荧光物质。

离子色谱法：分析阴离子污染物如氯离子、硫酸根。

顶空气相色谱法：测定低沸点残留溶剂。

激光散射法：评估溶剂中颗粒物浓度。

薄层色谱法（TLC）：快速筛查有机杂质类别。

检测仪器

紫外可见分光光度计, 卡尔费休水分测定仪, 气相色谱仪, 电感耦合等离子体质谱仪, 原子吸收光谱仪, 电子天平, pH计, 密度计, 阿贝折射仪, 自动沸点测定仪, 荧光分光光度计, 离子色谱仪, 顶空进样器, 激光颗粒计数器, 薄层色谱扫描仪

北检院部分仪器展示