光阻剥离液-剥离效率测试

信息概要

光阻剥离液是半导体制造和电子行业中用于去除光刻胶的关键化学试剂，其剥离效率直接影响生产良率和工艺稳定性。剥离效率测试是通过科学方法评估光阻剥离液性能的重要手段，确保其符合工业标准和客户需求。第三方检测机构提供专业、公正的检测服务，帮助客户优化工艺、降低成本并提升产品质量。检测涵盖剥离效率、成分分析、安全性等多个维度，为产业链提供可靠的数据支持。

检测项目

剥离效率，残留物含量，金属离子浓度，pH值，粘度，比重，挥发性有机物含量，腐蚀性测试，溶解速率，颗粒物含量，表面张力，闪点，沸点，电导率，氯离子含量，硫酸根离子含量，总有机碳含量，稳定性测试，兼容性测试，环境适应性

检测范围

碱性光阻剥离液，酸性光阻剥离液，有机溶剂型剥离液，水性剥离液，半水性剥离液，高温型剥离液，低温型剥离液，负胶剥离液，正胶剥离液，UV固化胶剥离液，干膜剥离液，液态光阻剥离液，无金属离子剥离液，环保型剥离液，高纯度剥离液，快速剥离液，低挥发性剥离液，高粘度剥离液，低粘度剥离液，纳米级残留剥离液

检测方法

重量法：通过测量剥离前后基板重量变化计算剥离效率。

ICP-MS：用于检测金属离子含量，确保纯度达标。

离子色谱法：测定阴离子（如氯离子、硫酸根）浓度。

pH计测试：评估剥离液的酸碱度稳定性。

粘度计测试：监控液体流动特性。

气相色谱法：分析挥发性有机物成分。

表面张力仪：测量液体表面张力以评估润湿性。

电导率仪：检测溶液中离子导电能力。

热重分析：评估挥发性成分含量。

光学显微镜：观察基板表面残留物情况。

FTIR光谱：鉴定有机成分结构。

加速老化试验：测试产品储存稳定性。

腐蚀测试：评估对金属材料的腐蚀性。

溶解速率测试：记录特定时间内光刻胶溶解量。

环境模拟测试：验证不同温湿度条件下的性能。

检测仪器

电子天平，ICP-MS，离子色谱仪，pH计，旋转粘度计，气相色谱仪，表面张力仪，电导率仪，热重分析仪，光学显微镜，FTIR光谱仪，恒温恒湿箱，腐蚀测试仪，紫外分光光度计，离心机

北检院部分仪器展示