RCA清洗液-颗粒去除率检测

信息概要

RCA清洗液是半导体制造和精密电子行业中用于去除晶圆表面颗粒、有机物及金属污染的关键化学试剂。其颗粒去除率直接影响芯片良率和器件性能，因此检测RCA清洗液的颗粒去除率至关重要。第三方检测机构通过专业分析，确保清洗液符合行业标准，为客户提供可靠的质量评估和优化建议。

检测项目

颗粒去除率，pH值，电导率，金属离子含量，有机物残留量，颗粒浓度，粒径分布，浊度，表面张力，腐蚀性，挥发性有机物，氯离子含量，硫酸根离子含量，氟离子含量，总有机碳，溶解氧，稳定性，密度，粘度，氧化还原电位

检测范围

SC-1清洗液，SC-2清洗液，SPM清洗液，DHF清洗液，BHF清洗液，APM清洗液，HPM清洗液，RCA标准清洗液，稀释RCA清洗液，无金属离子RCA清洗液，低颗粒RCA清洗液，高纯度RCA清洗液，环保型RCA清洗液，酸性RCA清洗液，碱性RCA清洗液，中性RCA清洗液，半导体级RCA清洗液，光伏级RCA清洗液，纳米级RCA清洗液，定制化RCA清洗液

检测方法

激光粒度分析法：通过激光散射测量颗粒粒径分布及浓度。

电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）：检测金属离子含量。

离子色谱法：分析阴离子（如氯离子、硫酸根离子）浓度。

总有机碳分析仪（TOC）：测定有机物残留量。

动态光散射法（DLS）：评估纳米级颗粒的分散性。

pH计：测量清洗液的酸碱度。

电导率仪：检测溶液的电导率以评估离子含量。

表面张力仪：测定清洗液的表面张力。

紫外-可见分光光度法：分析有机物及特定离子浓度。

原子吸收光谱法（AAS）：定量金属元素含量。

气相色谱-质谱联用法（GC-MS）：鉴定挥发性有机物。

浊度计：评估溶液的浑浊程度。

粘度计：测量清洗液的粘度。

氧化还原电位计：检测溶液的氧化还原能力。

密度计：测定清洗液的密度。

检测仪器

激光粒度分析仪，电感耦合等离子体质谱仪，离子色谱仪，总有机碳分析仪，动态光散射仪，pH计，电导率仪，表面张力仪，紫外-可见分光光度计，原子吸收光谱仪，气相色谱-质谱联用仪，浊度计，粘度计，氧化还原电位计，密度计

北检院部分仪器展示