标准号: GB/T 26067-2010
标准名称: 硅片切口尺寸测试方法
英文名称:Standard test method for dimensions of notches on silicon wafers
标准状态:现行
发布日期: 2011-01-10
实施日期: 2011-10-01
出版语种:中文简体
替代标准:暂无
引用标准:GB/T 2828.1,GB/T 14264
提出部门:
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会