标准号: GB/T 26070-2010
标准名称: 化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法
英文名称:Characterization of subsurface damage in polished compound semiconductor wafers by reflectance difference spectroscopy method
标准状态:现行
发布日期: 2011-01-10
实施日期: 2011-10-01
出版语种:中文简体
替代标准:暂无
引用标准:
提出部门:
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会