标准号: GB/T 14139-2009
标准名称: 硅外延片
英文名称:Silicon epitaxial wafers
标准状态:被代替
发布日期: 2009-10-30
实施日期: 2010-06-01
出版语种:中文简体
替代标准:GB/T 14139-1993
引用标准:GB/T 2828.1,GB/T 6617,GB/T 6624,GB/T 12962,GB/T 12964,GB/T 13389,GB/T 14141,GB/T 14142,GB/T 14145,GB/T 14146,GB/T 14246,GB/T 14847,YS/T 24
提出部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会