标准号: GB/T 14146-2009
标准名称: 硅外延层载流子浓度测定汞探针电容-电压法
英文名称:Silicon epitaxial layers-determination of carrier concentration-mercury probe voltages-capacitance method
标准状态:被代替
发布日期: 2009-10-30
实施日期: 2010-06-01
出版语种:中文简体
替代标准:GB/T 14146-1993
引用标准:GB/T 1550,GB/T 1552,GB/T 14847
提出部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会