标准号: GB/T 14144-2009
标准名称: 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
英文名称:Testing method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon
标准状态:现行
发布日期: 2009-10-30
实施日期: 2010-06-01
出版语种:中文简体
替代标准:GB/T 14144-1993
引用标准:GB/T 1557,GB/T 14264
提出部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会