磁控溅射靶材磁场均匀性实验

信息概要

磁控溅射靶材磁场均匀性实验是评估靶材在磁控溅射过程中磁场分布均匀性的重要测试项目。该检测对于确保溅射工艺的稳定性、薄膜沉积的均匀性以及靶材使用寿命的延长具有重要意义。通过第三方检测机构的专业服务，客户可以获得准确、可靠的磁场均匀性数据，从而优化生产工艺并提升产品质量。

检测项目

磁场强度分布,磁场均匀性偏差,靶面磁场强度,靶材表面磁场梯度,磁场对称性,磁场稳定性,靶材边缘磁场强度,靶材中心磁场强度,磁场方向一致性,磁场重复性,靶材磁场衰减率,磁场温度稳定性,靶材磁场均匀性区域占比,磁场波动系数,靶材磁场均匀性等级,磁场线性度,靶材磁场均匀性随时间变化,磁场均匀性横向对比,磁场均匀性纵向对比,靶材磁场均匀性综合评分

检测范围

金属靶材,合金靶材,氧化物靶材,氮化物靶材,碳化物靶材,硫化物靶材,硒化物靶材,碲化物靶材,氟化物靶材,硼化物靶材,硅化物靶材,磷化物靶材,砷化物靶材,锑化物靶材,铋化物靶材,贵金属靶材,稀土靶材,复合靶材,纳米结构靶材,多层结构靶材

检测方法

霍尔探头扫描法：使用霍尔探头在靶材表面进行多点扫描测量磁场强度。

高斯计测量法：通过高斯计在特定位置测量磁场强度。

磁通量测量法：测量通过特定区域的磁通量来评估磁场均匀性。

磁场成像技术：利用磁场成像设备获取靶材表面磁场分布图像。

温度影响测试：在不同温度条件下测量磁场均匀性变化。

时间稳定性测试：长时间监测磁场均匀性的稳定性。

对比测试法：将待测靶材与标准样品进行磁场均匀性对比。

三维磁场测绘：通过三维扫描获取靶材周围空间磁场分布。

频率响应测试：测量磁场对不同频率的响应特性。

磁场均匀性统计分析：对多点测量数据进行统计分析。

磁场梯度计算：通过测量数据计算磁场梯度变化。

磁场对称性评估：评估磁场在靶材表面的对称分布情况。

磁场衰减测试：测量磁场强度随距离的衰减情况。

磁场方向一致性测试：评估磁场方向的一致性。

磁场均匀性区域划分：根据测量结果划分不同均匀性等级区域。

检测仪器

霍尔效应高斯计,三维磁场扫描仪,磁通量计,磁场成像系统,数字特斯拉计,磁强计,温度控制测试平台,磁场均匀性分析仪,磁场测绘系统,频率响应分析仪,数据采集系统,磁场梯度仪,磁滞回线测量仪,磁阻效应测量仪,磁光克尔效应测量仪

北检院部分仪器展示