微机电测试

信息概要

微机电系统（MEMS）是一种将机械元件、传感器、执行器与电子电路集成在微型芯片上的技术，广泛应用于汽车、医疗、消费电子等领域。微机电测试是确保MEMS产品性能、可靠性和安全性的关键环节，通过检测可以验证其是否符合设计要求和行业标准。检测的重要性在于帮助厂商优化产品设计、提高良率、降低失效风险，同时满足市场准入和法规要求，保障终端用户的使用安全。

检测项目

尺寸精度,表面粗糙度,机械强度,谐振频率,动态响应,静态性能,温度稳定性,湿度敏感性,抗冲击性,抗振动性,疲劳寿命,电气特性,信号噪声比,功耗测试,封装密封性,材料成分分析,残余应力,电磁兼容性,可靠性测试,失效分析

检测范围

加速度计,陀螺仪,压力传感器,麦克风,微镜,微泵,微阀,生物传感器,惯性测量单元,光学MEMS,射频MEMS,微流体芯片,温度传感器,湿度传感器,气体传感器,磁力计,能量收集器,微执行器,微开关,微喷嘴

检测方法

光学显微镜检测：通过高倍显微镜观察MEMS器件表面结构和缺陷。

扫描电子显微镜（SEM）：分析微观形貌和材料特性。

激光多普勒测振仪：测量器件的振动频率和动态响应。

探针台测试：用于电气特性参数的直接测量。

X射线衍射（XRD）：分析材料晶体结构和残余应力。

热重分析（TGA）：评估材料的热稳定性。

拉力测试机：测定机械强度和抗拉性能。

环境试验箱：模拟温湿度条件测试器件稳定性。

冲击试验机：验证器件的抗冲击能力。

振动台测试：模拟实际振动环境下的性能。

频谱分析仪：检测电磁兼容性和信号噪声。

红外热成像仪：观察器件工作时的温度分布。

原子力显微镜（AFM）：测量表面粗糙度和纳米级形貌。

气密性检测仪：测试封装密封性能。

加速寿命试验：通过高温高湿等条件加速老化，评估可靠性。

检测仪器

光学显微镜,扫描电子显微镜,激光多普勒测振仪,探针台,X射线衍射仪,热重分析仪,拉力测试机,环境试验箱,冲击试验机,振动台,频谱分析仪,红外热成像仪,原子力显微镜,气密性检测仪,加速寿命试验箱

北检院部分仪器展示