聚焦离子束-三维重构分析

信息概要

聚焦离子束-三维重构分析是一种先进的材料表征技术，通过离子束刻蚀与成像结合，实现样品的高精度三维形貌和结构重建。该技术广泛应用于半导体、纳米材料、生物医学等领域，能够提供纳米级分辨率的微观结构信息。检测的重要性在于帮助客户精确分析材料的内部缺陷、成分分布及界面特性，为产品质量控制、工艺优化和失效分析提供关键数据支持。此项检测服务适用于研发、生产及质量监控等多个环节，确保产品性能与可靠性。

检测项目

离子束刻蚀深度,三维形貌分辨率,样品表面粗糙度,元素成分分布,界面结合强度,晶体结构取向,缺陷密度分析,孔隙率测量,层间厚度,纳米颗粒分布,应力分布,导电性测试,热稳定性评估,化学键合状态,电子能谱分析,微观硬度,腐蚀速率,薄膜均匀性,相变温度,磁畴结构

检测范围

半导体器件,纳米涂层,金属合金,陶瓷材料,聚合物薄膜,生物组织样本,复合材料,光伏材料,磁性材料,超导材料,微机电系统,光学薄膜,电池电极材料,催化剂颗粒,纤维材料,石墨烯,碳纳米管,量子点,医用植入材料,传感器元件

检测方法

聚焦离子束刻蚀法：通过高能离子束逐层剥离样品表面，实现三维结构重建。

扫描电子显微镜成像：配合离子束刻蚀获取高分辨率二次电子图像。

能量色散X射线光谱：分析样品微区元素成分及分布。

电子背散射衍射：测定晶体结构取向和晶界特性。

原子力显微镜联用：补充表面形貌和力学性能数据。

X射线光电子能谱：表征表面化学状态和元素价态。

透射电子显微镜分析：观察纳米尺度微观结构。

拉曼光谱联用：检测材料分子振动和应力分布。

二次离子质谱：实现痕量元素深度剖析。

纳米压痕测试：测量局部机械性能参数。

热重-差示扫描量热法：分析材料热稳定性。

四探针电阻测试：评估微区导电性能。

荧光标记技术：用于生物样品特异性成像。

同步辐射X射线断层扫描：辅助三维结构验证。

磁力显微镜观测：研究材料磁畴结构。

检测仪器

聚焦离子束显微镜,场发射扫描电镜,能谱仪,电子背散射衍射系统,原子力显微镜,X射线光电子能谱仪,透射电子显微镜,拉曼光谱仪,二次离子质谱仪,纳米压痕仪,热重分析仪,四探针测试仪,荧光显微镜,同步辐射装置,磁力显微镜

北检院部分仪器展示